Дэвшилтэт материалын инженерчлэлийн салбарт гүнзгий интеграцчилалвакуум бүрэх технологи ба нанотехнологиyгадаргуугийн функциональчлал болон өндөр хүчин чадалтай материалын дизайны хувьсгалт дэвшлийг бий болгож байна. Өндөр вакуум орчинд физик уурын хуримтлал (PVD), химийн уурын хуримтлал (CVD), атомын давхаргын хуримтлал (ALD) зэрэг дэвшилтэт процессуудыг ашигласнаар бид нано хэмжээсээр материалын найрлага, бүтэц, морфологийг нарийн хянах боломжтой. Энэхүү салбар дундын синерги нь уламжлалт бүрхүүлийн гүйцэтгэлийн хязгаарыг даваад зогсохгүй дараагийн үеийн нано төхөөрөмж үйлдвэрлэх бат бөх суурийг тавьж өгдөг.
Нано хэмжээний нимгэн хальсан хуримтлалыг нарийн хянах
Магнетроны цацалт, электрон цацрагийн ууршилт, импульсийн лазер тунадасжуулалт (PLD) зэрэг вакуум бүрхүүлийн процессууд нь онцгой хальсны жигд байдал, бага согогийн нягтрал, дээд зэргийн наалдацын ачаар наноолон давхарга, супер торны бүтэц, квант цэгийн массив үйлдвэрлэх гол техник болсон. Тунадалтын параметрүүдийг (субстратын температур, ажлын даралт, плазмын хүч гэх мэт) тохируулснаар хальсны зузааныг нанометрээс хэдэн зуун нанометр хүртэл нарийн хянах боломжтой бөгөөд энэ нь оптик шүүлтүүр, хатуу хамгаалалтын бүрхүүл, микроэлектро-механик систем (MEMS) төхөөрөмжүүдийн хатуу шаардлагыг хангаж чадна.
Атомын давхаргын тунадасжилт: Нано хэмжээний капсулжуулалт болон 3 хэмжээст бүтцийг хувьсгал хийх нь
ALD технологи нь өөрийгөө хязгаарладаг гадаргуугийн химийн урвалаар дамжуулан нарийн төвөгтэй гурван хэмжээст бүтцийг атомын түвшний нарийвчлалтай нимгэн хальсан бүрхүүлээр бүрхэх боломжийг олгодог. Энэ шинж чанар нь нано нүх сүвтэй материалыг өөрчлөх, өндөр харьцаатай бүтцийг бүрэх, эрчим хүч хадгалах төхөөрөмж (жишээ нь, бүрэн хатуу төлөвт батерей) дахь электрод/электролитийн интерфэйсийг инженерчлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Жишээлбэл, лити-ион батерейнд ALD-д хуримтлагдсан хөнгөн цагааны исэл эсвэл гафниагийн нано давхаргууд нь катодын материалын дулааны тогтвортой байдал болон мөчлөгийн хугацааг мэдэгдэхүйц сайжруулж чаддаг.
Функциональ нано бүтцийн чиглэлтэй барилга байгууламж
Загварын тусламжтайгаар тунадасжуулалт болон нанолитографийн техникүүдтэй хослуулан вакуум бүрхүүл нь нано утас, нано хоолой, нано нүх сүвний массивын чиглэлтэй өсөлтийг улам бүр хөнгөвчлөх боломжтой. Ийм бүтэц нь гадаргуугийн плазмон резонансын (SPR) мэдрэгч, каталитик хөрвүүлэгч, өндөр хүчин чадалтай транзисторуудад маш их боломжийг харуулдаг. Жишээлбэл, анодын хөнгөн цагааны исэл (AAO) загварт титаны давхар ислийн нано хоолойн массивыг тунадасжуулахын тулд реактив цацалтыг ашиглах нь фотокаталитик задралын үр ашгийг эрс сайжруулж чадна.
Ирээдүйд чиглэсэн хэрэглээний хэтийн төлөв
Нанотехнологи болон вакуум бүрхүүлийн тасралтгүй шинэчлэл хийснээр ухаалаг хариу үйлдэл үзүүлдэг бүрхүүл, уян хатан электрон төхөөрөмж, квант тооцооллын бүрэлдэхүүн хэсэг зэрэг шинээр гарч ирж буй салбарууд шинэлэг дэвшилд бэлэн байна. Хязгаарлагдмал интеграци болон интерфэйсийн инженерчлэлийн синергетик оновчлолын тусламжтайгаар бид "микро бүтцийн дизайн"-аас "макроскопийн гүйцэтгэлийн тохируулга" хүртэлх зөрүүг аажмаар арилгаж, сансар судлал, биоанагаах ухаан, тогтвортой эрчим хүч зэрэг салбаруудад хувьсгалт шийдлүүдийг санал болгож байна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх үйлдвэрлэгчЖэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 10-р сарын 31