Ko te paninga korehau te nuinga kei roto ko te whakangao kohu korehau, te paninga pupuhi me te paninga katote, ka whakamahia katoa ki te whakatakoto i nga momo konganuku me nga kiriata kore-whakarewa i runga i te mata o nga waahanga kirihou ma te whakamaarama me te pupuhi i raro i nga tikanga korehau, ka taea te whiwhi i te paninga mata tino kikokore me te tino painga o te piri tere, engari he iti ake te utu mo te koti, he iti ake te utu mo te koti. hua teitei-koeke.
Ko te whakaheke i te kohu korehau he tikanga whakamahana i te whakarewa i raro i te korehau teitei, ka rewa, ka mimiti, ka hanga he kiriata whakarewa angiangi i runga i te mata o te tauira i muri i te whakamatao, me te matotoru o te 0.8-1.2 um. whakakiia te reira i roto i nga wahi concave iti, me te convex i runga i te mata o te hua i hanga ki te whiwhi i te mata whakaata-rite.When mahia waipara kohu korehau te ranei ki te whiwhi i te pānga whakaata huritao ranei ki te korehau vaporize te maitai ki te adhesion iti, me pani te mata raro.
I te nuinga o te wa e pa ana te pupuhi ki te magnetron sputtering, he tikanga whakaheke i te wera iti-tere. Ko te tukanga e hiahia ana ki te waatea mo te 1x10-3Torr, ko te 1.3x10-3Pa te ahua korehau kua whakakiia ki te argon hau inert (Ar), a i waenga i te taputapu kirihou (anode) me te whaainga whakarewa (cathode) me te ngaohiko teitei o naianei, na te whakakorikori irahiko o te hau inert i puta mai i te whakarewatanga o te plasma ngota, ka puta te ngota o te plasma ngota ki waho. ratou i runga i te tïpako kirihou. Ko te nuinga o nga paninga whakarewa whanui e whakamahi ana i te pupuhi DC, i te mea ko nga rauemi uku kore-conductive e whakamahi ana i te RF AC sputtering.
Ko te paninga katote he tikanga e whakamahia ai te rere hau ki te katote i te hau, te matū whakaeto ranei i raro i nga tikanga korehau, a ko te matū whakaeto me ona tauhohenga ka tukuna ki runga i te tïpako ma te pupuhi i nga katote hau me nga katote o te matū kua ngohe. Kei roto i enei ko te paninga katote katote whakakoi magnetron, te paninga katote tauhohenga, te paninga katote tukunga katode hollow (te tikanga whakangao kohu katote katote), me te paninga katote pewa-maha (te paninga katote arc cathode).
Poutū-taha-rua magnetron sputtering paninga tonu i roto i te raina
Ka taea te whakamahi mo nga hua hiko penei i te anga pukatuhi paparanga EMI, nga hua papatahi, tae atu ki nga hua kapu rama katoa i roto i tetahi tohu teitei ka taea te whakaputa. He nui te kaha o te uta, te awhi kiato me te awhi awhiowhio o nga kapu marama koeko mo te paninga taha-rua, ka nui ake te kaha o te uta. Ko te kounga pumau, he pai te rite o te paparanga kiriata mai i te puranga ki te puranga. Te taumata teitei o te mahi aunoa me te iti o te utu mahi.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Hanuere-23-2025