Ko te hangarau CVD kei runga i te tauhohenga matū. Ko te tauhohenga kei roto nga tauhohenga i roto i te ahua haurehu me tetahi o nga hua kei te ahua totoka ka kiia ko te tauhohenga CVD, no reira me tutuki i tana punaha tauhohenga matū nga tikanga e toru e whai ake nei.
(1) I te pāmahana waipara, me tino nui te pehanga kohu o nga reactants. Mēnā he haurehu katoa ngā tauhohenga i te pāmahana rūma, he ngawari noa iho te taputapu waipara, mena he iti rawa nga tauhohenga i te pāmahana rūma, me whakamahana ki te whakawera, i etahi wa me whakamahi te hau kawe hei kawe ki te ruma tauhohenga.
(2) O nga hua tauhohenga, me noho nga matū katoa i roto i te ahua hau haunga mo te putunga e hiahiatia ana, kei roto i te ahua totoka.
(3) Me iti te pehanga kohu o te kiriata kua whakatakotohia kia mau ai te piri o te kiriata kua whakatakotohia ki tetahi tïpako he pāmahana whakapumau i te wa o te tauhohenga. Me iti hoki te pehanga kohu o te rauemi tïpako i te pāmahana waipara.
Kua wehea nga tauhohenga waipara ki nga ahuatanga matua e toru e whai ake nei.
(1) Te ahua hau. Ko nga mea puna ka hau i te pāmahana rūma, penei i te mewaro, te hauhā, te haukini, te pūhaumāota, me ētahi atu, he mea tino pai ki te whakahekenga matū matū, me te tere o te rere o te rere.
(2) Wai. Ko etahi matū tauhohenga i te pāmahana rūma, he iti ake ranei te pāmahana, he nui te pehanga kohu, penei i te TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, me etahi atu, ka taea te whakamahi ki te kawe i te hau (penei i te H2, N2, Ar) ka rere i roto i te mata o te wai, te wai ranei i roto i te mirumiru, katahi ka kawe i nga kohu kukū o te matū ki roto i te taiwhanga.
(3) Te ahua totoka. Ki te kore he puna hau e tika ana, he puna wai ranei, ka taea anake te whakamahi i nga kai totika. Ko etahi huānga me o ratou pūhui i roto i nga rau nekehanga he nui te pehanga kohu, penei i te TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, me etahi atu, ka taea te kawe ki roto i te taiwhanga ma te whakamahi i te hau kawe i tuu ki te paparanga kiriata.
Ko te momo ahuatanga noa ake na roto i tetahi hau me te rauemi puna hau-totoka, hau-wai ranei, te hanganga o nga waahanga hau e tika ana ki te tuku studio. Hei tauira, ka tauhohe te hau HCl me te whakarewa Ga ki te hanga i te wahanga haurehu GaCl, ka haria ki te taiwhanga hei GaCl.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Nov-16-2023