Vacuum coating milina amin'ny rafitra pumping manana ireto fepetra fototra manaraka ireto:
(1) Ny rafitra vacuum coating dia tokony hanana taham-pamokarana lehibe ampy, izay tsy tokony handroaka haingana ny entona mivoaka avy amin'ny substrate sy ny fitaovana etona sy ny singa ao amin'ny efitrano banga mandritra ny dingan'ny coating, fa ho afaka hanongotra haingana ny entona mivoaka avy amin'ny sputtering sy ion coating dingana, ary koa ny entona leakage sy ny ion coating dingana.
Ny fivoahana entona mandritra ny fizotran'ny sputtering sy ny fametahana ion dia azo alaina haingana ihany koa. Mba hanatsarana ny famokarana ny milina coating, dia tokony ho afaka miasa haingana.
(2) Ny banga farany amin'ny rafitra pumping machine coating dia tokony ho samy hafa araka ny fepetra takian'ny sarimihetsika samihafa. Ny tabilao 7-9 dia ny haavon'ny vacuum takiana amin'ny fizotry ny fametahana sarimihetsika samihafa.
(3) Ao amin'ny paompy fanaparitahana menaka satria ny rafitra paompy lehibe indrindra dia mitaky ny taham-pamokarana solika ny paompy dia kely araka izay azo atao, satria ny etona solika miverina dia handoto ny endriky ny workpiece ary hahatonga ny kalitaon'ny sarimihetsika hihena. Ao amin'ny sarimihetsika fepetra takiana dia ambony indrindra amin'ny coating dingana, dia tsara indrindra ny mampiasa ny tsy misy menaka pumping rafitra. Rehefa mampiasa diffusion paompy paompy rafitra, dia tokony ho napetraka ao amin'ny paompy fidirana adsorption fandrika, mangatsiaka fandrika sy ny singa hafa, ary tokony hihaino tsara ny conductivity ny singa mba hahazoana antoka fa ny banga rafitra mba hihazonana ny ambony indrindra pumping hafainganam-pandeha.
(4) Ny tahan'ny leakage ny banga coating efitra sy ny pumping rafitra dia tokony ho kely, izany hoe, na dia trace entona leakage, dia hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny sarimihetsika. Noho izany, mba hahazoana antoka ny famehezana famehezana ny rafitra, ny fitambaran'ny tahan'ny leakage ny rafitra dia tsy maintsy voafetra ho amin'ny faritra azo ekena.
(5) Ny fiasan'ny rafitra banga, ny fampiasana ary ny fikojakojana dia tokony ho tsara, azo antoka ary azo antoka.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Dec-14-2023