Ny teknolojia CVD dia mifototra amin'ny fanehoan-kevitra simika. Ny fanehoan-kevitra izay misy ny reactants amin'ny endrika entona ary ny iray amin'ireo vokatra dia ao amin'ny fanjakana matanjaka dia matetika antsoina hoe réaction CVD, noho izany dia tsy maintsy manatanteraka ireto fepetra telo manaraka ireto ny rafitra fanehoan-kevitra simika.
(1) Amin'ny mari-pana deposition, ny reactants dia tsy maintsy manana tsindry etona ambony. Raha ny reactants dia entona rehetra amin'ny mari-pana ao amin'ny efitrano, ny fitaovana deposition dia somary tsotra, raha ny reactants dia mivadibadika ao amin'ny efitrano mari-pana dia kely dia kely, dia mila hafanaina mba hahatonga azy ho mivaingana, ary indraindray mila mampiasa ny entona mpitatitra mba hitondra azy ho any amin'ny efitra fanehoan-kevitra.
(2) Amin'ny vokatra fanehoan-kevitra, ny akora rehetra dia tsy maintsy ao amin'ny entona fanjakana afa-tsy ny fametrahana tiana, izay ao amin'ny fanjakana mafy orina.
(3) Ny fanerena ny etona amin'ny sarimihetsika napetraka dia tokony ho ambany ampy mba hahazoana antoka fa ny sarimihetsika napetraka dia miraikitra mafy amin'ny substrate manana mari-pana deposition manokana mandritra ny fanehoan-kevitra. Tokony ho ambany ihany koa ny fanerena etona amin'ny fitaovana substrate amin'ny mari-pana deposition.
Ny reactants deposition dia mizara ho fanjakana telo lehibe manaraka.
(1) Fanjakana gasy. Ny akora loharano misy entona amin'ny mari-pana ao amin'ny efitrano, toy ny metana, gazy karbonika, amoniaka, klôro, sns., izay mety indrindra amin'ny fametrahana ny etona simika, ary mora fehezina ny taham-pidirana.
(2) Rano. Ny akora fanehoan-kevitra sasany amin'ny mari-pana amin'ny efitrano na ny mari-pana ambony kokoa dia misy fanerena etona avo, toy ny TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, sns., Azo ampiasaina hitondrana ny entona (toy ny H2, N2, Ar) mikoriana amin'ny alàlan'ny ranon-javatra na ny ranon-javatra ao anatin'ny bubble, ary avy eo dia mitondra ny etona feno ny akora ao amin'ny studio.
(3) Fanjakana mafy orina. Raha tsy misy loharanon-gazety na ranon-javatra mety, dia ny famatsian-dranomamy ihany no azo ampiasaina. Ny singa sasany na ny fitambaran'izy ireo amin'ny mari-pahaizana an-jatony dia manana fanerena etona be, toy ny TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, sns., dia azo entina ao amin'ny studio amin'ny alàlan'ny entona mpitatitra napetraka ao anaty sosona sarimihetsika.
Ny toe-javatra mahazatra kokoa karazana amin'ny alalan'ny entona iray sy ny loharanon-javatra entona-solid na entona-liquid fanehoan-kevitra, ny fananganana ny entona mifanaraka amin'ny fanaterana studio. Ohatra, ny gazy HCl sy ny metaly Ga dia mihetsika mba hamorona singa gazy GaCl, izay entina any amin'ny studio amin'ny endrika GaCl.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Nov-16-2023