Vakuuma pārklāšanas iekārtai uz sūknēšanas sistēmas ir šādas pamatprasības:
(1) Pārklāšanas vakuuma sistēmai jābūt pietiekami lielam sūknēšanas ātrumam, kas ne tikai ātri izsūknē gāzes, kas izdalās no substrāta un iztvaicētajiem materiāliem un komponentiem vakuuma kamerā pārklāšanas procesa laikā, bet arī spēj ātri izsūknēt gāzes, kas izdalās no izsmidzināšanas un jonu pārklāšanas procesa, kā arī no izsmidzināšanas un jonu pārklāšanas procesa un sistēmas radītās gāzes noplūdes.
Gāzes noplūdi izsmidzināšanas un jonu pārklāšanas procesa laikā var arī ātri novērst. Lai uzlabotu pārklāšanas iekārtas produktivitāti, tai jāspēj darboties ātri.
(2) Pārklāšanas mašīnas sūknēšanas sistēmas galīgajam vakuumam jābūt atšķirīgam atkarībā no dažādu plēvju prasībām. 7.-9. tabulā ir norādīts vakuuma pakāpes diapazons, kas nepieciešams dažādu plēvju pārklāšanas procesā.
(3) Eļļas difūzijas sūknī kā galvenajā sūknēšanas sistēmā ir nepieciešams, lai sūkņa eļļas atgriešanas ātrums būtu pēc iespējas mazāks, jo atgrieztie eļļas tvaiki piesārņos sagataves virsmu un pasliktinās plēves kvalitāti. Pārklāšanas procesā plēves kvalitātes prasības ir īpaši augstas, tāpēc vislabāk ir izmantot bezeļļas sūknēšanas sistēmu. Izmantojot eļļas difūzijas sūkņa sūknēšanas sistēmu, sūkņa ieplūdes atverē jāuzstāda adsorbcijas slazds, aukstuma slazds un citas sastāvdaļas, kā arī jāpievērš uzmanība sastāvdaļu vadītspējai, lai nodrošinātu, ka vakuuma sistēma uztur maksimālo sūknēšanas ātrumu.
(4) Vakuuma pārklāšanas kameras un tās sūknēšanas sistēmas noplūdes ātrumam jābūt nelielam, t.i., pat neliela gāzes noplūde ietekmēs plēves kvalitāti. Tāpēc, lai nodrošinātu sistēmas hermētiskumu, kopējam sistēmas noplūdes ātrumam jābūt ierobežotam pieļaujamajā diapazonā.
(5) Vakuuma sistēmas darbībai, lietošanai un apkopei jābūt ērtai, stabilai un uzticamai.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 14. decembris