Izsmidzināšanas iekārtas, kas pazīstamas arī kā izsmidzināšanas sistēmas, ir ļoti specializētas iekārtas, ko izmanto plānās plēves uzklāšanas procesā. Tās darbojas pēc izsmidzināšanas principa, kas ietver mērķa materiāla bombardēšanu ar augstas enerģijas joniem vai atomiem. Procesa laikā no mērķa materiāla tiek izmesta atomu plūsma, kas pēc tam tiek nogulsnēta uz substrāta, veidojot plānu plēvi.
Izsmidzināšanas uzklāšanas iekārtu izmantošana ir ievērojami paplašinājusies, pateicoties to spējai ražot augstas tīrības pakāpes, izcilas vienmērības un kontrolēta biezuma plēves. Šādām plēvēm ir plašs pielietojums mikroelektronikā, optikā, saules baterijās, magnētiskajos datu nesējos un citās jomās.
Jaunākie sasniegumi izsmidzināšanas uzklāšanas iekārtu jomā ir uzlabojuši funkcionalitāti un raksturlielumus. Ievērojams progress ir magnetrona izsmidzināšanas tehnoloģijas iekļaušana, kas ļauj sasniegt lielāku uzklāšanas ātrumu un uzlabot plēves kvalitāti. Šis jauninājums ļauj uzklāt dažādus materiālus, tostarp metālus, metālu oksīdus un pusvadītājus.
Turklāt izsmidzināšanas uzklāšanas iekārtas tagad ir aprīkotas ar modernām vadības sistēmām, kas nodrošina precīzu uzklāšanas parametru, piemēram, gāzes spiediena, jaudas blīvuma, mērķa sastāva un substrāta temperatūras, kontroli. Šie uzlabojumi uzlabo plēves veiktspēju un ļauj ražot plēves ar īpašībām, kas pielāgotas konkrētiem pielietojumiem.
Turklāt nepārtrauktā attīstība nanotehnoloģiju jomā ievērojami ietekmē arī izsmidzināšanas uzklāšanas iekārtas. Pētnieki izmanto šīs iekārtas, lai ar ārkārtīgi augstu precizitāti izveidotu nanostruktūras un nanostrukturētus pārklājumus. Izsmidzināšanas uzklāšanas iekārtas spēj uzklāt plānas plēves uz sarežģītām formām un lielām platībām, padarot tās ideāli piemērotas dažādiem nanoskalas pielietojumiem.
Nesen tika ziņots, ka zinātnieku komanda no pazīstamas pētniecības iestādes ir veiksmīgi izstrādājusi jaunu izsmidzināšanas uzklāšanas iekārtu, kas var uzklāt plānas plēves ar nepieredzētu precizitāti. Šī modernā iekārta apvieno modernākos vadības algoritmus un jaunu magnetrona dizainu, lai panāktu izcilu plēves vienmērīgumu un biezuma kontroli. Pētnieku komanda paredz, ka tās iekārta revolucionizēs nākamās paaudzes elektronisko ierīču un enerģijas uzkrāšanas sistēmu ražošanas procesu.
Jaunu materiālu ar uzlabotu funkcionalitāti izstrāde ir zinātnieku aprindu neatlaidīgs uzdevums. Izsmidzināšanas uzklāšanas iekārtas ir kļuvušas par neaizstājamu instrumentu šajā izpētē, veicinot jaunu materiālu ar unikālām īpašībām atklāšanu un sintēzi. Pētnieki izmanto šīs iekārtas, lai pētītu plēvju augšanas mehānismus, pētītu materiālus ar pielāgotām īpašībām un atklātu jaunus materiālus, kas varētu veidot tehnoloģiju nākotni.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 30. oktobris