1. Hroma mērķis Hroms kā izsmidzināšanas plēves materiāls ir ne tikai viegli savienojams ar substrātu, nodrošinot augstu saķeri, bet arī savienojas ar hromu un oksīdu, veidojot CrO3 plēvi, tā mehāniskās īpašības, izturība pret skābēm un termiskā stabilitāte ir labākas. Turklāt hroms nepilnīgā oksidācijas stāvoklī var radīt arī vājas absorbcijas plēvi. Ir ziņots, ka hromu ar tīrības pakāpi, kas pārsniedz 98%, var izmantot taisnstūrveida vai cilindrisku hroma mērķu izgatavošanai. Turklāt ir nobriedusi arī tehnoloģija, kurā tiek izmantota saķepināšanas metode hroma taisnstūrveida mērķu izgatavošanai.
2. ITO mērķis. ITO plēves mērķa materiāla sagatavošana. Agrāk mērķu izgatavošanai parasti izmantoja In-Sn sakausējuma materiālus, pēc tam pārklāšanas procesā caur skābekli ģenerējot ITO plēvi. Šai metodei ir grūti kontrolēt reakcijas gāzi, un tai ir slikta reproducējamība. Tāpēc pēdējos gados to ir aizstājis ITO saķepināšanas mērķis. ITO mērķa materiāla tipiskais process ir atkarīgs no kvalitātes attiecības: izmantojot lodīšu malšanas metodi, materiāls tiek pilnībā sajaukts, pēc tam pievieno īpašu organisko pulverveida kompozītmateriālu, iegūst vajadzīgo formu un sablīvē zem spiediena, pēc tam plāksni karsē gaisā 100 ℃/h temperatūrā, pēc 1 stundas turēšanas uzsilda līdz 1600 ℃, pēc tam atdzesē ar ātrumu 100 ℃/h līdz istabas temperatūrai un izveido. Dzesēšanas ātrums 100 ℃/h līdz istabas temperatūrai un izveido. Izgatavojot mērķus, mērķa plakne ir jānopulē, lai izvairītos no karstajiem punktiem izsmidzināšanas procesā.
3. Zelta un zelta sakausējuma mērķis ir zelta spīdums, pievilcīgs, ar labu izturību pret koroziju, un tas ir ideāls dekoratīvs virsmas pārklājuma materiāls. Iepriekš izmantotā mitrā pārklāšanas metode ir maza plēves saķere, zema izturība, slikta nodilumizturība un rada atkritumu šķidruma piesārņojuma problēmas, tāpēc tā neizbēgami tiek aizstāta ar sauso pārklāšanu. Mērķa veidi ir plakani mērķi, lokāli kompozītmateriāla mērķi, cauruļveida mērķi, lokāli kompozītmateriāla cauruļveida mērķi utt. Tās sagatavošanas metode galvenokārt ietver vakuuma kausēšanu, kodināšanu, auksto velmēšanu, atkvēlināšanu, smalko velmēšanu, cirpšanu, virsmas tīrīšanu, auksto velmēšanu kompozītmateriālu iepakojumā un virkni procesu, piemēram, sagatavošanas procesu. Šī tehnoloģija ir izturējusi novērtējumu Ķīnā un ir devusi labus rezultātus.
4. Magnētiskā materiāla mērķis Magnētiskā materiāla mērķi galvenokārt izmanto plānplēves magnētisko galviņu, plānplēves disku un citu magnētisko plānplēves ierīču pārklāšanai. Tā kā magnētiskajiem materiāliem tiek izmantota līdzstrāvas magnetrona izsmidzināšanas metode, magnetrona izsmidzināšana ir sarežģītāka. Tāpēc šādu mērķu sagatavošanai tiek izmantoti CT mērķi ar tā saukto "spraugu mērķa tipu". Princips ir izgriezt daudzas spraugas mērķa materiāla virsmā, lai magnētiskā sistēma varētu ģenerēt magnētiskā lauka noplūdes magnētisko lauku uz magnētiskā materiāla virsmas, lai mērķa virsma varētu veidot ortogonālu magnētisko lauku un sasniegt magnetrona izsmidzināšanas plēves mērķi. Tiek apgalvots, ka šāda mērķa materiāla biezums var sasniegt 20 mm.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 24. janvāris