3. Substrāta temperatūras ietekme
Substrāta temperatūra ir viens no svarīgākajiem membrānas augšanas nosacījumiem. Tā nodrošina papildu enerģijas pieplūdumu membrānas atomiem vai molekulām un galvenokārt ietekmē membrānas struktūru, aglutinācijas koeficientu, izplešanās koeficientu un agregācijas blīvumu. Makroskopiskā atstarošanās plēvē refrakcijas indekss, izkliede, spriegums, adhēzija, cietība un nešķīstība ievērojami atšķirsies atšķirīgās substrāta temperatūras dēļ.
(1) Auksts substrāts: parasti izmanto metāla plēves iztvaicēšanai.
(2) Augstas temperatūras priekšrocības:
① Uz substrāta virsmas adsorbētās atlikušās gāzes molekulas tiek noņemtas, lai palielinātu saistīšanās spēku starp substrātu un nogulsnētajām molekulām;
(2) Veicināt plēves slāņa fizikālās adsorbcijas pāreju uz ķīmisko adsorbciju, uzlabot molekulu mijiedarbību, padarīt plēvi hermētisku, palielināt saķeri un uzlabot mehānisko izturību;
3. Samaziniet atšķirību starp tvaika molekulārās pārkristalizācijas temperatūru un substrāta temperatūru, uzlabojiet plēves slāņa blīvumu, palieliniet plēves slāņa cietību, lai novērstu iekšējo spriegumu.
(3) Pārāk augstas temperatūras trūkums: mainās plēves slāņa struktūra vai plēves materiāls sadalās.
4. Jonu bombardēšanas ietekme
Bombardēšana pēc pārklāšanas: uzlabo plēves agregācijas blīvumu, uzlabo ķīmisko reakciju, palielina oksīda plēves refrakcijas indeksu, mehānisko izturību, pretestību un adhēziju. Palielina gaismas bojājumu slieksni.
5. Substrāta materiāla ietekme
(1) Dažāds substrāta materiāla izplešanās koeficients radīs atšķirīgu plēves termisko spriegumu;
(2) Dažāda ķīmiskā afinitāte ietekmēs plēves saķeri un stingrību;
(3) Pamatnes raupjums un defekti ir galvenie plānās kārtiņas izkliedes avoti.
6. Substrāta tīrīšanas ietekme
Netīrumu un mazgāšanas līdzekļa atliekas uz pamatnes virsmas izraisīs: (1) sliktu plēves saķeri ar pamatni; ② palielinās izkliedes absorbcija, slikta pretlāzera spēja; ③ slikta gaismas caurlaidība.
Plēves materiāla ķīmiskais sastāvs (tīrība un piemaisījumu veidi), fizikālais stāvoklis (pulveris vai bloks) un pirmapstrāde (vakuuma saķepināšana vai kalšana) ietekmēs plēves struktūru un veiktspēju.
8. Iztvaikošanas metodes ietekme
Sākotnējā kinētiskā enerģija, ko nodrošina dažādas iztvaikošanas metodes molekulu un atomu iztvaicēšanai, ir ļoti atšķirīga, kā rezultātā plēves struktūrā rodas liela atšķirība, kas izpaužas kā refrakcijas indeksa, izkliedes un adhēzijas atšķirība.
9. Tvaika krišanas leņķa ietekme
Tvaika krišanas leņķis attiecas uz leņķi starp tvaika molekulārā starojuma virzienu un pārklātā substrāta virsmas normāli, kas ietekmē plēves augšanas īpašības un agregācijas blīvumu, un tam ir liela ietekme uz plēves refrakcijas indeksu un izkliedes īpašībām. Lai iegūtu augstas kvalitātes plēves, ir jākontrolē plēves materiāla tvaika molekulu cilvēka emisijas leņķis, kas parasti jāierobežo līdz 30°.
10. Cepšanas apstrādes ietekme
Plēves termiskā apstrāde atmosfērā veicina apkārtējās gāzes molekulu un plēves molekulu sprieguma atbrīvošanos un termisko migrāciju, un tā var rekombinēt plēves struktūru, tāpēc tai ir liela ietekme uz plēves refrakcijas indeksu, spriegumu un cietību.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 29. marts