Vakuuminio dengimo mašina ant siurbimo sistemos turi šiuos pagrindinius reikalavimus:
(1) Dengimo vakuuminė sistema turėtų turėti pakankamai didelį pumpavimo greitį, kuris ne tik greitai išpumpuotų iš pagrindo, išgaravusių medžiagų ir vakuuminėje kameroje esančių komponentų dengimo proceso metu išsiskiriančias dujas, bet ir galėtų greitai išpumpuoti iš purškimo ir joninio dengimo proceso išsiskiriančias dujas, taip pat iš purškimo ir joninio dengimo proceso bei sistemos dujų nuotėkį.
Dujų nuotėkį purškimo ir joninio dengimo proceso metu taip pat galima greitai pašalinti. Siekiant pagerinti dengimo mašinos našumą, ji turėtų gebėti veikti greitai.
(2) Dengimo mašinos siurbimo sistemos galutinis vakuumas turėtų skirtis priklausomai nuo skirtingų plėvelių reikalavimų. 7.9 lentelėje pateiktas vakuumo laipsnio diapazonas, reikalingas skirtingų plėvelių dengimo procesui.
(3) Kadangi alyvos difuzinis siurblys yra pagrindinė siurbimo sistema, siurblio alyvos grąžinimo greitis turi būti kuo mažesnis, nes grįžtantys alyvos garai užterš ruošinio paviršių ir pablogins plėvelės kokybę. Dengimo procese plėvelės kokybės reikalavimai yra ypač aukšti, todėl geriausia naudoti bealyvę siurbimo sistemą. Naudojant alyvos difuzinį siurblį, siurblio įleidimo angoje turėtų būti įrengti adsorbcijos gaudyklės, šalčio gaudyklės ir kiti komponentai, taip pat reikėtų atkreipti dėmesį į komponentų laidumą, kad vakuuminė sistema išlaikytų maksimalų siurbimo greitį.
(4) Vakuuminės dengimo kameros ir jos siurbimo sistemos nuotėkio greitis turi būti mažas, t. y. net ir nedidelis dujų nuotėkis turės įtakos plėvelės kokybei. Todėl, siekiant užtikrinti sistemos sandarumą, bendras sistemos nuotėkio greitis turi būti apribotas iki leistino diapazono.
(5) Vakuuminės sistemos veikimas, naudojimas ir priežiūra turėtų būti patogūs, stabilūs ir patikimi.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 14 d.