Purškimo mašinos, dar žinomos kaip purškimo sistemos, yra labai specializuota įranga, naudojama plonų plėvelių nusodinimo procese. Jos veikia purškimo principu, kai tikslinė medžiaga bombarduojama didelės energijos jonais arba atomais. Proceso metu iš tikslinės medžiagos išstumiama atomų srovė, kuri vėliau nusodinama ant pagrindo, kad susidarytų plona plėvelė.
Dėl gebėjimo gaminti didelio grynumo, puikaus vienodumo ir kontroliuojamo storio plėveles, dulkių dulkinimu nusodintų mašinų naudojimas labai išsiplėtė. Tokios plėvelės plačiai taikomos mikroelektronikoje, optikoje, saulės elementuose, magnetinėse laikmenose ir kitose srityse.
Naujausi pokyčiai dulkinimo būdu nusodinimo mašinų srityje pagerino jų funkcionalumą ir charakteristikas. Pastebima pažanga yra magnetroninio dulkinimo technologijos įdiegimas, leidžiantis pasiekti didesnį nusodinimo greitį ir pagerinti plėvelės kokybę. Ši inovacija leidžia nusodinti įvairias medžiagas, įskaitant metalus, metalų oksidus ir puslaidininkius.
Be to, dulkinimo nusodinimo mašinos dabar aprūpintos pažangiomis valdymo sistemomis, kurios užtikrina tikslų nusodinimo parametrų, tokių kaip dujų slėgis, galios tankis, taikinio sudėtis ir pagrindo temperatūra, valdymą. Šie patobulinimai pagerina plėvelės savybes ir leidžia gaminti plėveles, kurių savybės pritaikytos konkrečioms reikmėms.
Be to, nuolatinis nanotechnologijų srities vystymasis taip pat labai naudingas naudojant dulkių nusodinimo mašinas. Tyrėjai naudoja šias mašinas nanostruktūroms ir nanostruktūrinėms dangoms kurti itin dideliu tikslumu. Dulkinimo mašinos gali nusodinti plonas plėveles ant sudėtingų formų ir didelių plotų, todėl jos idealiai tinka įvairiems nanoskalės taikymams.
Neseniai pranešta, kad gerai žinomos mokslinių tyrimų įstaigos mokslininkų komanda sėkmingai sukūrė naują dulkinimo būdu nusodinimo mašiną, kuri gali nusodinti plonas plėveles precedento neturinčiu tikslumu. Ši pažangi mašina integruoja pažangiausius valdymo algoritmus ir naują magnetrono konstrukciją, kad būtų pasiektas puikus plėvelės vienodumas ir storio valdymas. Mokslininkų komanda tikisi, kad jų mašina pakeis naujos kartos elektroninių prietaisų ir energijos kaupimo sistemų gamybos procesą.
Naujų medžiagų, pasižyminčių patobulintomis savybėmis, kūrimas yra nenuilstamas mokslo bendruomenės siekis. Dulkinimo mašinos tapo nepakeičiama priemone šiame tyrime, palengvinančia naujų medžiagų, turinčių unikalių savybių, atradimą ir sintezę. Tyrėjai naudoja šias mašinas plėvelių augimo mechanizmams, medžiagoms su pritaikytomis savybėmis tirti ir naujoms medžiagoms, kurios galėtų formuoti technologijų ateitį, atrasti.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. spalio 30 d.