1. Chromo taikinys. Chromas, kaip purškiamosios plėvelės medžiaga, ne tik lengvai sujungiamas su substratu, pasižymi dideliu sukibimu, bet ir sujungiamas su chromu bei oksidu, kad susidarytų CrO3 plėvelė, todėl jo mechaninės savybės, atsparumas rūgštims ir terminis stabilumas yra geresni. Be to, nepilnos oksidacijos būsenos chromas taip pat gali sudaryti silpną sugerties plėvelę. Pranešama, kad chromas, kurio grynumas didesnis nei 98 %, gali būti naudojamas stačiakampių arba cilindrinių chromo taikinių gamybai. Be to, brandi technologija, naudojant sukepinimo metodą chromo stačiakampiams taikiniams gaminti.
2. ITO taikinio paruošimas. Anksčiau taikiniams gaminti dažniausiai naudodavo In-Sn lydinio medžiagas, kurios dengimo procese buvo veikiamos deguonies ir susidarė ITO plėvelė. Šį metodą sunku kontroliuoti reakcijos dujas, o atkuriamumas prastas. Todėl pastaraisiais metais jį pakeitė ITO sukepinimo taikiniai. Įprastas ITO taikinio gamybos procesas, atsižvelgiant į kokybę, yra rutulinio malimo metodas, kuris kruopščiai sumaišomas, tada pridedama speciali organinių miltelių pavidalo kompozicinė medžiaga, sumaišoma iki reikiamos formos, suspaudžiama slėgiu, o tada plokštė kaitinama ore 100 ℃/h temperatūroje, po 1 valandos palaikymo kaitinama iki 1600 ℃, o tada ataušinama 100 ℃/h greičiu iki kambario temperatūros. Ataušinama 100 ℃/h greičiu iki kambario temperatūros. Gaminant taikinius, taikinio plokštuma turi būti poliruota, kad būtų išvengta karštų taškų purškimo procese.
3. Auksas ir aukso lydinio taikinys, pasižymintis žavingu blizgesiu ir atsparumu korozijai, yra ideali dekoratyvinė paviršiaus dengimo medžiaga. Anksčiau naudotas šlapias dengimo metodas pasižymi mažu plėvelės sukibimu, mažu stiprumu, prastu atsparumu dilimui ir skysčių tarša, todėl neišvengiamai pakeičiamas sausu dengimu. Taikinių tipai gali būti plokščias taikinys, vietinis kompozicinis taikinys, vamzdinis taikinys, vietinis kompozicinis vamzdinis taikinys ir kt. Jo paruošimo metodas daugiausia apima vakuuminį lydymą, ėsdinimą, šaltąjį valcavimą, atkaitinimą, smulkųjį valcavimą, kirpimą, paviršiaus valymą, šaltąjį valcavimą kompoziciniame pakete ir daugybę kitų procesų, tokių kaip paruošimo procesas. Ši technologija buvo įvertinta Kinijoje ir davė gerų rezultatų.
4. Magnetinės medžiagos taikiklis Magnetinės medžiagos taikiklis daugiausia naudojamas plonų plėvelių magnetinėms galvutėms, plonų plėvelių diskams ir kitiems magnetiniams plonų plėvelių įtaisams dengti. Dėl nuolatinės srovės magnetroninio dulkinimo metodo naudojimo magnetinėms medžiagoms magnetroninis dulkinimas yra sudėtingesnis. Todėl tokiems taikiniams paruošti naudojami KT taikiniai su vadinamuoju „tarpo tipo taikiniu“. Principas yra išpjauti daug tarpų taikinio medžiagos paviršiuje, kad magnetinė sistema galėtų generuoti magnetinio lauko nuotėkį magnetiniame lauke, kad taikinio paviršius galėtų suformuoti statmeną magnetinį lauką ir pasiekti magnetroninio dulkinimo plėvelės paskirtį. Teigiama, kad šios taikinio medžiagos storis gali siekti 20 mm.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. sausio 24 d.