ເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດໃນລະບົບສູບນ້ໍາມີຄວາມຕ້ອງການພື້ນຖານດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
(1) ລະບົບສູນຍາກາດການເຄືອບຄວນຈະມີອັດຕາການສູບນ້ໍາຂະຫນາດໃຫຍ່ພຽງພໍ, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ຈະສູບອອກຢ່າງໄວວາຂອງອາຍແກັສທີ່ປ່ອຍອອກມາຈາກ substrate ແລະ evaporated ວັດສະດຸແລະອົງປະກອບໃນຫ້ອງສູນຍາກາດໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການເຄືອບ, ແຕ່ຍັງສາມາດສູບອອກຢ່າງໄວວາຂອງອາຍແກັສທີ່ປ່ອຍອອກມາຈາກ sputtering ແລະຂະບວນການເຄືອບ ion, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການຮົ່ວໄຫລຂອງອາຍແກັສຂອງລະບົບ coating ແລະ sputtering.
ການຮົ່ວໄຫຼຂອງອາຍແກັສໃນລະຫວ່າງການ sputtering ແລະຂະບວນການເຄືອບ ion ຍັງສາມາດສະກັດອອກຢ່າງໄວວາ. ເພື່ອປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງເຄື່ອງເຄືອບ, ມັນຄວນຈະສາມາດດໍາເນີນການໄດ້ໄວ.
(2) ສູນຍາກາດສຸດທ້າຍຂອງລະບົບການສູບເຄື່ອງເຄືອບຄວນມີຄວາມແຕກຕ່າງກັນຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຮູບເງົາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ຕາຕະລາງ 7-9 ແມ່ນລະດັບສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການໂດຍຂະບວນການເຄືອບຂອງຮູບເງົາທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
(3) ໃນປັ໊ມການແຜ່ກະຈາຍນ້ໍາມັນເປັນລະບົບປັ໊ມປັ໊ມຕົ້ນຕໍຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີອັດຕາການສົ່ງຄືນນ້ໍາມັນຂອງປັ໊ມແມ່ນຫນ້ອຍທີ່ສຸດເທົ່າທີ່ເປັນໄປໄດ້, ເພາະວ່າໄອນ້ໍາກັບຄືນມາຈະເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດຕໍ່ຫນ້າວຽກແລະເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາຫຼຸດລົງ. ໃນຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາແມ່ນສູງໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການເຄືອບ, ມັນດີທີ່ສຸດທີ່ຈະໃຊ້ລະບົບການສູບນ້ໍາທີ່ບໍ່ມີນ້ໍາມັນ. ໃນເວລາທີ່ການນໍາໃຊ້ລະບົບການແຜ່ກະຈາຍຂອງນ້ໍາມັນ pump pumping, ຄວນກໍານົດໄວ້ໃນ pump inlet adsorption trap, ຈັ່ນຈັບເຢັນແລະອົງປະກອບອື່ນໆ, ແລະຄວນຈະເອົາໃຈໃສ່ກັບ conductivity ຂອງອົງປະກອບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າລະບົບສູນຍາກາດຮັກສາຄວາມໄວການສູບນ້ໍາສູງສຸດ.
(4) ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼຂອງຫ້ອງເຄືອບສູນຍາກາດແລະລະບົບການສູບນ້ໍາຂອງມັນຄວນຈະມີຂະຫນາດນ້ອຍ, ie, ເຖິງແມ່ນວ່າມັນເປັນການຮົ່ວໄຫຼຂອງອາຍແກັສຕາມຮອຍ, ມັນຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ. ດັ່ງນັ້ນ, ເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດການປະທັບຕາຂອງລະບົບ, ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼທັງຫມົດຂອງລະບົບຕ້ອງຖືກຈໍາກັດໃນຂອບເຂດທີ່ອະນຸຍາດ.
(5) ການດໍາເນີນງານລະບົບສູນຍາກາດ, ການນໍາໃຊ້ແລະການບໍາລຸງຮັກສາຄວນຈະສະດວກ, ສະຖຽນລະພາບແລະປະສິດທິພາບທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: 14-12-2023

