ການເຄືອບສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍການປ່ອຍອາຍພິດ vacuum, ການເຄືອບ sputtering ແລະ ion coating, ທັງຫມົດນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຝາກຮູບເງົາຕ່າງໆຂອງໂລຫະແລະທີ່ບໍ່ແມ່ນໂລຫະໃສ່ຫນ້າດິນຂອງພາກສ່ວນພາດສະຕິກໂດຍການກັ່ນຫຼື sputtering ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ສາມາດໄດ້ຮັບການເຄືອບບາງຫຼາຍ, ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງການຍຶດຕິດໄວ, ແຕ່ລາຄາຍັງສູງກ່ວາ, ແລະປະເພດຂອງການທໍາງານຂອງໂລຫະປະສົມແມ່ນການນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປ. ຜະລິດຕະພັນຊັ້ນສູງ.
Vacuum vapor deposition ແມ່ນວິທີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງໂລຫະພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນລະລາຍ, evaporate, ແລະປະກອບເປັນຮູບເງົາໂລຫະບາງໆຢູ່ດ້ານຂອງຕົວຢ່າງຫຼັງຈາກຄວາມເຢັນ, ມີຄວາມຫນາ 0.8-1.2 um. ມັນຕື່ມຂໍ້ມູນໃສ່ໃນສ່ວນ concave ແລະ convex ຂະຫນາດນ້ອຍເທິງຫນ້າດິນຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ສ້າງຂຶ້ນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ພື້ນຜິວຄ້າຍຄືກະຈົກ. ໃນເວລາທີ່ vacuum vapor deposition ດໍາເນີນການບໍ່ວ່າຈະເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜົນກະຈົກສະທ້ອນແສງຫຼື vacuum vaporize ເຫຼັກທີ່ມີ adhesion ຕ່ໍາ, ດ້ານລຸ່ມຕ້ອງໄດ້ຮັບການເຄືອບ.
Sputtering ປົກກະຕິແລ້ວຫມາຍເຖິງ sputtering magnetron, ເຊິ່ງເປັນວິທີການ sputtering ອຸນຫະພູມຕ່ໍາຄວາມໄວສູງ. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີສູນຍາກາດປະມານ 1 × 10-3Torr, ນັ້ນແມ່ນລັດສູນຍາກາດ 1.3 × 10-3Pa ເຕັມໄປດ້ວຍ argon ອາຍແກັສ inert (Ar), ແລະລະຫວ່າງ substrate ພາດສະຕິກ (anode) ແລະເປົ້າຫມາຍໂລຫະ (cathode) ບວກກັບກະແສໄຟຟ້າແຮງດັນສູງ, ເນື່ອງຈາກການກະຕຸ້ນອິເລັກຕອນຂອງອາຍແກັສ inert ທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດ blastoma, produsto. ຂອງເປົ້າຫມາຍໂລຫະແລະຝາກໃຫ້ເຂົາເຈົ້າໃສ່ substrate ພລາສຕິກ. ສ່ວນໃຫຍ່ຂອງການເຄືອບໂລຫະທົ່ວໄປໃຊ້ DC sputtering, ໃນຂະນະທີ່ວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ບໍ່ແມ່ນ conductive ໃຊ້ RF AC sputtering.
ການເຄືອບ ion ແມ່ນວິທີການທີ່ການປ່ອຍອາຍແກັສຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອ ionize ອາຍແກັສບາງສ່ວນຫຼືສານລະເຫີຍພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ແລະສານລະເຫີຍຫຼື reactants ຂອງມັນຖືກຝາກໄວ້ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນໂດຍການລະເບີດຂອງອາຍແກັສ ion ຫຼື ion ຂອງສານລະເຫີຍ. ເຫຼົ່ານີ້ລວມມີການເຄືອບ ion magnetron sputtering, ການເຄືອບ ion reactive, ການເຄືອບ ion cathode ຮູ (ວິທີການ cathode vapor deposition ເປັນຮູ), ແລະການເຄືອບຫຼາຍ arc ion (ການເຄືອບ cathode arc ion).
ແນວຕັ້ງສອງດ້ານຂອງແມ່ເຫຼັກ sputtering ເຄືອບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນເສັ້ນ
ສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນເອເລັກໂຕຣນິກເຊັ່ນ: ຊັ້ນປ້ອງກັນເປືອກຫຸ້ມນອກ EMI, ຜະລິດຕະພັນຮາບພຽງ, ແລະແມ້ກະທັ້ງຜະລິດຕະພັນຖ້ວຍໂຄມໄຟທັງຫມົດພາຍໃນລະດັບຄວາມສູງທີ່ແນ່ນອນສາມາດຜະລິດໄດ້. ຄວາມອາດສາມາດການໂຫຼດຂະຫນາດໃຫຍ່, clamping ຫນາແຫນ້ນແລະ staggered clamping ຂອງຈອກແສງສະຫວ່າງຮູບຈວຍສໍາລັບການເຄືອບສອງດ້ານ, ເຊິ່ງສາມາດມີຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດຂະຫນາດໃຫຍ່. ຄຸນະພາບທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ດີຂອງຊັ້ນຮູບເງົາຈາກ batch ຫາ batch. ລະດັບສູງຂອງອັດຕະໂນມັດແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແຮງງານຕ່ໍາ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: 23-01-2025