ເຕັກໂນໂລຊີ CVD ແມ່ນອີງໃສ່ປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ປະຕິກິລິຍາທີ່ reactants ຢູ່ໃນສະພາບທາດອາຍແກັສແລະຫນຶ່ງໃນຜະລິດຕະພັນຢູ່ໃນສະພາບແຂງແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວເອີ້ນວ່າເປັນຕິກິຣິຍາ CVD, ດັ່ງນັ້ນລະບົບຕິກິຣິຍາເຄມີຂອງມັນຕ້ອງປະຕິບັດສາມເງື່ອນໄຂດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້.
(1) ຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມຂອງທາດປະສົມ, ທາດປະຕິກອນຕ້ອງມີຄວາມກົດດັນຂອງໄອສູງພຽງພໍ. ຖ້າ reactants ມີທາດອາຍແກັສທັງຫມົດຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ອຸປະກອນການຝາກແມ່ນຂ້ອນຂ້າງງ່າຍດາຍ, ຖ້າຫາກວ່າ reactants ມີການລະເຫີຍໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງມີຂະຫນາດນ້ອຍຫຼາຍ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເພື່ອເຮັດໃຫ້ມັນລະເຫີຍ, ແລະບາງຄັ້ງຈໍາເປັນຕ້ອງໃຊ້ອາຍແກັສ carrier ເພື່ອນໍາມັນເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ.
(2) ຂອງຜະລິດຕະພັນຕິກິຣິຍາ, ສານທັງຫມົດຈະຕ້ອງຢູ່ໃນສະຖານະທາດອາຍຜິດຍົກເວັ້ນເງິນຝາກທີ່ຕ້ອງການ, ເຊິ່ງຢູ່ໃນສະພາບແຂງ.
(3) ຄວາມກົດດັນອາຍຂອງຟິມທີ່ຝາກໄວ້ຄວນຈະຕໍ່າພໍເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຟິມທີ່ຝາກໄວ້ແມ່ນຕິດແຫນ້ນກັບຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ມີອຸນຫະພູມການຊຶມເຊື້ອທີ່ແນ່ນອນໃນລະຫວ່າງການປະຕິກິລິຢາ deposition. ຄວາມກົດດັນຂອງອາຍຂອງວັດສະດຸຍ່ອຍຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມຂອງເງິນຝາກຍັງຈະຕ້ອງຕ່ໍາພຽງພໍ.
ທາດປະຕິກອນການຕົກຄ້າງຖືກແບ່ງອອກເປັນສາມລັດຕົ້ນຕໍຕໍ່ໄປນີ້.
(1) ລັດ gaseous. ແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງທາດອາຍພິດໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ເຊັ່ນ: methane, ຄາບອນໄດອອກໄຊ, ammonia, chlorine, ແລະອື່ນໆ, ທີ່ເອື້ອອໍານວຍທີ່ສຸດກັບ vapor deposition ສານເຄມີ, ແລະສໍາລັບການທີ່ອັດຕາການໄຫຼໄດ້ຖືກຄວບຄຸມໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ.
(2) ທາດແຫຼວ. ສານປະຕິກິລິຍາບາງຢ່າງຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງຫຼືອຸນຫະພູມສູງກວ່າເລັກນ້ອຍ, ມີຄວາມດັນ vapor ສູງ, ເຊັ່ນ: TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, ແລະອື່ນໆ, ສາມາດນໍາໃຊ້ອາຍແກັສ (ເຊັ່ນ: H2, N2, Ar) ໄຫຼຜ່ານຫນ້າດິນຂອງແຫຼວຫຼືຂອງແຫຼວພາຍໃນຟອງ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນນໍາ vapors ອີ່ມຕົວຂອງສານເຂົ້າໄປໃນສະຕູດິໂອ.
(3) ສະພາບແຂງ. ໃນກໍລະນີທີ່ບໍ່ມີແຫຼ່ງທາດອາຍແກັສ ຫຼື ທາດແຫຼວທີ່ເໝາະສົມ, ມີພຽງແຕ່ອາຫານທີ່ມີສະພາບແຂງເທົ່ານັ້ນທີ່ສາມາດນຳໃຊ້ໄດ້. ບາງອົງປະກອບຫຼືທາດປະສົມຂອງມັນຢູ່ໃນຫຼາຍຮ້ອຍອົງສາມີຄວາມກົດດັນ vapor ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຊັ່ນ: TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ແລະອື່ນໆ, ສາມາດໄດ້ຮັບການປະຕິບັດເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງສະຕູດິໂອໂດຍນໍາໃຊ້ອາຍແກັສ carrier ຝາກເຂົ້າໄປໃນຊັ້ນຮູບເງົາ.
ປະເພດສະຖານະການທົ່ວໄປຫຼາຍໂດຍຜ່ານອາຍແກັສສະເພາະໃດຫນຶ່ງແລະແຫຼ່ງອຸປະກອນການຕິກິຣິຍາອາຍແກັສຂອງແຂງຫຼືອາຍແກັສຂອງແຫຼວ, ການສ້າງຕັ້ງຂອງອົງປະກອບ gaseous ທີ່ເຫມາະສົມກັບການສົ່ງສະຕູດິໂອ. ສໍາລັບການຍົກຕົວຢ່າງ, ອາຍແກັສ HCl ແລະໂລຫະ Ga react ປະກອບເປັນອົງປະກອບ gaseous GaCl, ການຂົນສົ່ງໄປສະຕູດິໂອໃນຮູບແບບຂອງ GaCl ໄດ້.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: 16-11-2023