D'Vakuumbeschichtungsmaschinn um Pompelsystem huet déi folgend Grondufuerderungen:
(1) De Vakuumbeschichtungssystem soll eng genuch grouss Pompelgeschwindegkeet hunn, déi net nëmmen d'Gasen, déi vum Substrat an de verdampfte Materialien an de Komponenten an der Vakuumkammer während dem Beschichtungsprozess fräigesat ginn, séier erauspompele soll, mä och fäeg sinn, d'Gasen, déi beim Sputter- an Ionenbeschichtungsprozess fräigesat ginn, souwéi de Gasleck vum Sputter- an Ionenbeschichtungsprozess an dem System séier erauszepompelen.
De Gasleck beim Sputteren an dem Ionenbeschichtungsprozess kann och séier erausgeholl ginn. Fir d'Produktivitéit vun der Beschichtungsmaschinn ze verbesseren, soll se séier funktionéiere kënnen.
(2) De maximalen Vakuum vum Pompelsystem vun der Beschichtungsmaschinn soll jee no den Ufuerderunge vun de verschiddene Folien ënnerschiddlech sinn. Tabelle 7-9 weist de Beräich vum Vakuumgrad, deen duerch de Beschichtungsprozess vu verschiddene Folien erfuerderlech ass.
(3) An der Uelegdiffusiounspompel als Haaptpompelsystem muss d'Uelegréckgabrate vun der Pompel sou kleng wéi méiglech sinn, well den Uelegdamp zréck d'Uewerfläch vum Werkstéck verschmotze kann an d'Qualitéit vum Film verschlechtert. Well d'Qualitéitsufuerderunge fir de Film besonnesch héich sinn, ass et am beschten en uelegfräie Pompelsystem ze benotzen. Wann d'Uelegdiffusiounspompelpompelsystem benotzt gëtt, sollten d'Adsorptiounsfalle, d'Kältefalle an aner Komponenten vum Pompelansaum installéiert ginn, an et sollt op d'Leetfäegkeet vun de Komponenten opgepasst ginn, fir sécherzestellen, datt de Vakuumsystem déi maximal Pompelgeschwindegkeet hält.
(4) D'Leckagequote vun der Vakuumbeschichtungskammer a sengem Pompelsystem soll kleng sinn, dat heescht, och wann et e Spuergasleck ass, beaflosst et d'Qualitéit vum Film. Dofir, fir d'Dichtungsleistung vum System ze garantéieren, muss déi total Leckagequote vum System op den zulässege Beräich limitéiert sinn.
(5) De Betrib, d'Benotzung an d'Ënnerhalt vum Vakuumsystem solle praktesch, stabil a verlässlech sinn.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 14. Dezember 2023