Насостук системадагы вакуумдук каптоочу машина төмөнкүдөй негизги талаптарга ээ:
(1) Каптоочу вакуум системасы каптоо процессинде субстраттан жана бууланган материалдардан бөлүнүп чыккан газдарды жана вакуумдук камерадагы компоненттерди тез сордуруп гана тим болбостон, ошондой эле чачыратуу жана иондук каптоо процессинен, ошондой эле газдын агып кетүүсүнөн жана чачуу процессинен чыккан газдарды тез сордурууга жөндөмдүү болууга тийиш.
Чачыратуу жана иондук каптоо процессинде газдын агып кетиши да тез арада алынышы мүмкүн. Каптоочу машинанын эмгек ендурумдуулугун жогорулатуу учун аны тез иштетуу керек.
(2) каптоо машина насостук системасынын акыркы боштук ар кандай тасмалардын талаптарына ылайык ар кандай болушу керек. Таблица 7-9 - ар кандай пленкаларды каптоо процесси талап кылган вакуумдук даражанын диапазону.
(3) Негизги насостун насостук системасы катары мунайдын диффузиялык насосунда насостун мунай кайтаруу ылдамдыгы мүмкүн болушунча аз болушун талап кылат, анткени кайра кайтарылган мунай буусу даярдалган тетиктин бетин булгап, пленканын сапатынын төмөндөшүнө алып келет. Пленканын сапатына талаптар каптоо процессинде өзгөчө жогору, майсыз насостук системаны колдонуу эң жакшы. Мунай диффузиялык насостун насостук системасын колдонууда насостун кире турган адсорбциялык капканына, муздак капканга жана башка компоненттерге орнотулушу керек жана вакуумдук система максималдуу насостук ылдамдыкты сактап турушун камсыз кылуу үчүн компоненттердин өткөрүмдүүлүгүнө көңүл бурушу керек.
(4) Вакуумдук каптоо камерасынын жана анын насостук тутумунун агып кетүү ылдамдыгы аз болушу керек, башкача айтканда, газдын изи агып кетсе дагы, ал пленканын сапатына таасирин тийгизет. Демек, системанын мөөрлөнүү иштешин камсыз кылуу үчүн системанын жалпы агып кетүү ылдамдыгы жол берилген диапазон менен чектелиши керек.
(5) Вакуум системасынын иштеши, пайдалануу жана тейлөө ыңгайлуу, туруктуу жана ишенимдүү иштеши керек.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2023-жылдын 14-декабрына чейин