Чачыратуу тутумдары катары белгилүү болгон чачыранды жайгаштыруу машиналары жука пленканы түшүрүү процессинде колдонулган жогорку адистештирилген жабдуулар. Ал бутага алынган материалды жогорку энергиялуу иондор же атомдор менен бомбалоону камтыган чачыратуу принцибинде иштейт. Процесс максаттуу материалдан атомдордун агымын чыгарып, андан кийин жука пленканы түзүү үчүн субстраттын үстүнө жайгаштырылат.
Тазалыктын жогорку, эң сонун бирдейлиги жана башкарылуучу калыңдыгы бар пленкаларды чыгарууга жөндөмдүүлүгүнөн чачыранды түшүрүүчү машиналарды колдонуу бир топ кеңейди. Мындай пленкалар микроэлектроника, оптика, күн батареялары, магниттик сактоо каражаттары жана башка тармактарда кеңири колдонулат.
Чачыраткычтарды түшүрүүчү машиналар тармагындагы акыркы өнүгүүлөр жакшыртылган функцияларды жана жакшыртылган мүнөздөмөлөрдү алып келди. Магнетронду чачыратуу технологиясын киргизүү көрүнүктүү жетишкендик болуп саналат, ал жогорку чөктүрүүнүн ылдамдыгын жана пленканын сапатын жакшыртууга мүмкүндүк берет. Бул инновация металлдарды, металл оксиддерин жана жарым өткөргүчтөрдү камтыган түрдүү материалдарды жайгаштырууга мүмкүндүк берет.
Кошумчалай кетсек, чачыратуучу чөктүрүүчү машиналар азыр газдын басымы, кубаттуулуктун тыгыздыгы, максаттуу курамы жана субстраттын температурасы сыяктуу чөктүрүүнүн параметрлерин так көзөмөлдөөнү камсыз кылган өнүккөн башкаруу системалары менен жабдылган. Бул жетишкендиктер тасманын иштешин жакшыртат жана атайын колдонмолорго ылайыкташтырылган касиеттери бар тасмаларды чыгарууга мүмкүндүк берет.
Мындан тышкары, нанотехнология тармагындагы үзгүлтүксүз өнүгүү да чачыранды түшүрүүчү машиналардан чоң пайда алып келет. Изилдөөчүлөр бул машиналарды өтө жогорку тактык менен наноструктураларды жана наноструктуралуу каптоолорду түзүү үчүн колдонуп жатышат. Чачыргычтарды жайгаштыруу машиналары жука пленкаларды татаал формаларга жана чоң аянттарга жайгаштырууга жөндөмдүү, бул аларды ар кандай нано масштабдуу колдонмолор үчүн идеалдуу кылат.
Жакында белгилүү илимий мекеменин окумуштуулар тобу жука пленкаларды болуп көрбөгөндөй тактык менен түшүрө ала турган жаңы чачыранды түшүрүүчү машинаны ийгиликтүү иштеп чыккандыгы кабарланган. Бул алдыңкы машина пленканын бирдейлигине жана калыңдыгын көзөмөлдөөгө жетишүү үчүн заманбап башкаруу алгоритмдерин жана жаңы магнетрон дизайнын бириктирет. Изилдөө тобу анын машинасы кийинки муундагы электрондук шаймандарды жана энергияны сактоо системаларын өндүрүү процессинде төңкөрүш жасайт деп ойлойт.
Жакшыртылган функциялуу жаңы материалдарды иштеп чыгуу илимий коомчулуктун тынымсыз изденүүсү. Бул чалгындоодо чачыратуучу аппараттар ажырагыс курал болуп калды, алар уникалдуу касиеттери бар жаңы материалдарды ачууга жана синтездешти. Изилдөөчүлөр бул машиналарды пленканын өсүү механизмдерин изилдөө, ылайыкташтырылган касиеттери бар материалдарды изилдөө жана технологиянын келечегин түзө турган жаңы материалдарды табуу үчүн колдонушат.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2023-жылдын 30-октябрына чейин