Makîneya boyaxkirina valahiyê li ser pergala pompkirinê pêdiviyên bingehîn ên jêrîn hene:
(1) Divê sîstema valahiya pêçandinê xwedî rêjeyeke pompkirinê ya têra xwe mezin be, ku ne tenê divê gazên ku di dema pêvajoya pêçandinê de ji substrat û materyalên buharbûyî û pêkhateyên di odeya valahiya de têne berdan bi lez derxe, lê di heman demê de bikaribe gazên ku ji pêvajoya sputtering û pêçandina îyonan têne berdan, û her weha rijandina gazê ya pêvajoya sputtering û pêçandina îyonan û pergalê jî bi lez derxe.
Gaza ku di dema pêvajoya sputtering û pêçandina iyonan de derdikeve jî dikare bi lez were derxistin. Ji bo baştirkirina hilberîna makîneya pêçandinê, divê ew bikaribe zû bixebite.
(2) Divê valahiya dawîn a pergala pompkirina makîneya pêçandinê li gorî hewcedariyên fîlmên cûda cûda be. Tabloya 7-9 rêza pileya valahiya ku ji hêla pêvajoya pêçandinê ya fîlmên cûda ve tê xwestin nîşan dide.
(3) Di pompa belavbûna rûnê de, wekî pergala pompkirina pompa sereke, pêdivî ye ku rêjeya vegera rûnê ya pompê bi qasî ku pêkan be kêm be, ji ber ku buhara rûnê ya vegerê dê rûyê perçeya kar qirêj bike û bibe sedema kêmbûna kalîteya fîlmê. Di pêvajoya pêçandinê de, ji ber ku pêdiviyên kalîteya fîlmê bi taybetî zêde ne, çêtirîn e ku pergala pompkirina bê rûn were bikar anîn. Dema ku pergala pompkirina pompa belavbûna rûnê tê bikar anîn, divê dafika adsorpsiyonê ya têketina pompê, dafika sar û pêkhateyên din werin danîn, û divê bala xwe bidin konduktîvîteya pêkhateyan da ku pergala valahiyê leza pompkirinê ya herî zêde biparêze.
(4) Rêjeya rijandina odeya boyaxkirina valahiyê û pergala pompkirina wê divê piçûk be, ango her çend rijandina gazê ya şopîner be jî, ew ê bandorê li kalîteya fîlmê bike. Ji ber vê yekê, ji bo ku performansa mohrkirinê ya pergalê were misoger kirin, divê rêjeya rijandina giştî ya pergalê bi rêjeya destûrdayî ve were sînordar kirin.
(5) Xebat, karanîn û parastina pergala valahiyê divê performansa wê hêsan, aram û pêbawer be.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 14ê Kanûna Pêşîn a 2023an