Makîneyên danîna sputterê, ku wekî pergalên sputterkirinê jî têne zanîn, alavên pir pispor in ku di pêvajoya danîna fîlma tenik de têne bikar anîn. Ew li ser prensîba sputterkirinê dixebite, ku tê de bombebarankirina materyalek hedef bi îyon an atomên enerjiya bilind heye. Pêvajo herikek atoman ji materyalek hedef derdixe, ku dûv re li ser substratek tê danîn da ku fîlmek tenik çêbike.
Bikaranîna makîneyên depokirina sputterê ji ber şiyana wan a hilberandina fîlmên bi paqijiya bilind, yekrengiya hêja û qalindahiya kontrolkirî pir berfireh bûye. Fîlmên weha di mîkroelektronîk, optîk, xaneyên rojê, medyaya hilanîna magnetîkî û warên din de xwedî sepanên berfireh in.
Pêşketinên dawî di warê makîneyên danîna sputterê de bûne sedema baştirkirina fonksiyonelîteyê û baştirkirina taybetmendiyan. Pêşketinek girîng bicihkirina teknolojiya sputterkirina magnetronê ye, ku rê dide rêjeyên danîna bilindtir û kalîteya fîlmê baştir bibe. Ev nûjenî rê dide danîna cûrbecûr materyalan, di nav de metal, oksîdên metal û nîvconductor.
Herwiha, makîneyên danîna sputter niha bi pergalên kontrolê yên pêşketî ve hatine stendin ku kontrola rast a parametreyên danîna wekî zexta gazê, dendika hêzê, pêkhateya hedef û germahiya substratê misoger dikin. Ev pêşketin performansa fîlmê baştir dikin û hilberîna fîlmên bi taybetmendiyên ku li gorî sepanên taybetî hatine çêkirin gengaz dikin.
Herwiha, pêşveçûna berdewam di warê nanoteknolojiyê de ji makîneyên danîna sputterê jî gelek sûd werdigire. Lêkolîner van makîneyan bikar tînin da ku nanostruktûr û pêçanên nanostruktûr bi rastbûnek pir bilind biafirînin. Makîneyên danîna sputterê dikarin fîlmên tenik li ser şeklên tevlihev û deverên mezin danîn, ku wan ji bo cûrbecûr serîlêdanên nanopîvan îdeal dike.
Di demên dawî de hate ragihandin ku tîmek ji zanyarên ji saziyek lêkolînê ya navdar bi serkeftî makîneyek nû ya danîna sputterê pêşxistiye ku dikare fîlmên tenik bi rastbûnek bêhempa deyne. Ev makîneya pêşkeftî algorîtmayên kontrolê yên herî pêşkeftî û sêwirana magnetronê ya nû entegre dike da ku yekrengiya fîlmê û kontrola qalindahiya bilind bi dest bixe. Tîma lêkolînê texmîn dike ku makîneya wê dê di pêvajoya çêkirina cîhazên elektronîkî yên nifşê pêşerojê û pergalên hilanîna enerjiyê de şoreşek çêbike.
Pêşxistina materyalên nû bi fonksiyonên baştirkirî lêgerînek bênavber a civaka zanistî ye. Makîneyên depokirina sputter di vê lêgerînê de bûne amûrek girîng, ku vedîtin û senteza materyalên nû yên bi taybetmendiyên bêhempa hêsan dikin. Lêkolîner van makîneyan bikar tînin da ku mekanîzmayên mezinbûna fîlmê lêkolîn bikin, materyalên bi taybetmendiyên xwerû lêkolîn bikin, û materyalên nû kifş bikin ku dikarin pêşeroja teknolojiyê şekil bidin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 30ê Cotmeha 2023an