1. Hedefa Kromê Krom wekî materyalek fîlmê sputterkirinê ne tenê bi hêsanî bi substratê re têkel dibe û xwedî girêdanek bilind e, lê di heman demê de krom û oksîdê jî fîlmê CrO3 çêdikin, taybetmendiyên wê yên mekanîkî, berxwedana asîdê û aramiya germî çêtir in. Wekî din, krom di rewşa oksîdasyona netemam de jî dikare fîlmek vegirtinê ya qels çêbike. Hat ragihandin ku krom bi paqijiya ji %98 zêdetir dibe hedefên çargoşeyî an hedefên kromê yên silindirî. Wekî din, teknolojiya karanîna rêbaza sinterkirinê ji bo çêkirina hedefa çargoşeyî ya kromê jî gihîştiye asteke pêşketî.
2. Hedefa ITO Amadekirina fîlma ITO Materyalê hedefê ku berê dihat bikaranîn, bi gelemperî materyalên alloy In-Sn ji bo çêkirina hedefan dihatin bikaranîn, û dûv re di pêvajoya pêçandinê de bi oksîjenê dihatin pêçandin, û dûv re fîlma ITO dihatin çêkirin. Ev rêbaz dijwar e ku gaza reaksiyonê were kontrol kirin û dubarekirina wê nebaş e. Ji ber vê yekê, di salên dawî de bi hedefa sinterkirina ITO ve hatiye guhertin. Pêvajoya tîpîk a materyalê hedefa ITO li gorî rêjeya kalîteyê ye, bi rêbaza frezkirina topê bi tevahî tê tevlihev kirin, û dûv re toza organîk a taybetî ya kompozît tê zêdekirin û di şiklê pêwîst de tê tevlihev kirin, û bi zextê tê pak kirin, û dûv re plakaya di hewayê de bi rêjeya germkirinê ya 100 ℃ / h piştî girtina 1 saetê digihîje 1600 ℃, û dûv re rêjeya sarkirinê ya 100 ℃ / h dadikeve germahiya odeyê û tê çêkirin. Rêjeya sarkirinê ya 100 ℃ / h dadikeve germahiya odeyê û tê çêkirin. Dema çêkirina hedefan, pêdivî ye ku balafirê hedef were cilandin, da ku di pêvajoya sputterkirinê de ji xalên germ dûr bikevin.
3. Armanca zêr û hevbendiya zêr, bi şewqek balkêş, bi berxwedana baş a korozyonê, materyalên îdeal ên pêçandina rûyê xemilandî ye. Rêbaza plakaya şil a ku di demên berê de dihat bikar anîn, girêdana fîlmê piçûk, hêza kêm, berxwedana aşınandinê qels e, û her weha pirsgirêkên qirêjiya şilavê yên bermayî hene, ji ber vê yekê, neçar e ku bi plakaya hişk were guheztin. Cureyê hedefê hedefa sabît, hedefa kompozît a herêmî, hedefa lûleyî, hedefa kompozît a lûleyî ya herêmî û hwd. Rêbaza amadekirina wê bi giranî bi rêya dozaja helandina valahiyê, pisîlkirin, gêrkirina sar, germkirin, gêrkirina nazik, birrîn, paqijkirina rûyê, pakkirina kompozît a sar û rêze pêvajoyên wekî amadekirina pêvajoyê ye. Vê teknolojiyê li Çînê nirxandin derbas kiriye, karanîna encamên baş daye.
4. Armancên ji madeya magnetîkî Armancên ji madeya magnetîkî bi giranî ji bo pêçandina serên magnetîkî yên fîlmên tenik, dîskên fîlmên tenik û cîhazên din ên fîlmên tenik ên magnetîkî têne bikar anîn. Ji ber karanîna rêbaza sputterkirina magnetronê ya DC ji bo materyalên magnetîkî, sputterkirina magnetronê dijwartir e. Ji ber vê yekê, hedefên CT yên bi navê "cureya hedefa valahiyê" ji bo amadekirina hedefên weha têne bikar anîn. Prensîb ew e ku li ser rûyê materyalê hedef gelek valahî werin birîn da ku pergala magnetîkî li ser rûyê materyalê magnetîkî qada magnetîkî ya rijandina hedefê çêbibe, da ku rûyê hedefê zeviyek magnetîkî ya ortogonal çêbike û armanca fîlma sputterkirina magnetronê bi dest bixe. Tê gotin ku qalindahiya vê materyalê hedefê dikare bigihîje 20 mm.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 24ê rêbendana 2024an