Hêmanên Pêvajoyê û Mekanîzmayên Çalakiyê yên ku bandorê li ser kalîteya cîhazên fîlma tenik dikin (Beş 2)

3. Bandora germahiya substratê

Germahiya substratê yek ji şertên girîng ji bo mezinbûna parzûnê ye. Ew enerjiyek zêde dide atom an molekulên parzûnê û bi giranî bandorê li avahiya parzûnê, katsayiya kombûnê, katsayiya berfirehbûnê û dendika kombûnê dike. Refleksa makroskopîk di endeksa şikestinê ya fîlmê de, belavbûn, stres, zeliqandin, hişkbûn û neçaresernebûn dê ji ber germahiya cuda ya substratê pir cûda bibin.

(1) Substrata sar: bi gelemperî ji bo buharkirina fîlma metal tê bikar anîn.

(2) Awantajên germahiya bilind:

① Molekulên gazê yên mayî yên li ser rûyê substratê hatine adsorbekirin têne rakirin da ku hêza girêdanê ya di navbera substrat û molekulên rijandî de zêde bibe;

(2) Veguherîna adsorpsiyona fîzîkî bo kîmysorpsiyona qata fîlmê pêşve bibin, têkiliya di navbera molekulan de zêde bikin, fîlmê teng bikin, girêdanê zêde bikin û hêza mekanîkî baştir bikin;

③ Cûdahiya di navbera germahiya ji nû ve krîstalîzasyona molekulî ya buharê û germahiya substratê de kêm bikin, dendika qata fîlmê baştir bikin, hişkbûna qata fîlmê zêde bikin da ku stresa navxweyî ji holê rakin.

(3) Dezavantaja germahiya pir zêde: avahiya qata fîlmê diguhere an jî materyalê fîlmê hildiweşe.

4. Bandorên bombebarana îyonî

Bombebaran piştî pêçandinê: dendika kombûnê ya fîlmê baştir dike, reaksiyona kîmyewî zêde dike, rêjeya şikestinê ya fîlma oksîdê, hêza mekanîkî û berxwedan û zeliqandinê zêde dike. Asta zirara ronahiyê zêde dibe.
5. Bandora materyalê substratê

(1) Koefîsyentên berfirehbûnê yên cuda yên materyalê substratê dê bibin sedema stresên germî yên cuda yên fîlmê;

(2) Têkiliya kîmyewî ya cuda dê bandorê li ser girêdan û hişkbûna fîlmê bike;

(3) Xurtî û kêmasiyên substratê çavkaniyên sereke yên belavbûna fîlma tenik in.
6. Bandora paqijkirina substratê

Mayîna ax û deterjanê li ser rûyê substratê dê bibe sedema: (1) girêdana xirab a fîlmê bi substratê re; ② Vegirtina belavbûnê zêde dibe, şiyana dij-lazerê xirab e; ③ Performansa veguhestina ronahiyê xirab e.

Pêkhateya kîmyewî (cureyên paqijî û nepakiyê), rewşa fîzîkî (toz an blok), û pêşdermankirin (sinterkirina vakûmî an jî çêkirina materyalê fîlmê) dê bandorê li ser avahî û performansa fîlmê bike.

8. Bandora rêbaza buharbûnê

Enerjiya kînetîk a destpêkê ya ku ji hêla rêbazên buharkirinê yên cûda ve ji bo buharkirina molekul û atoman tê peyda kirin pir cûda ye, di encamê de di avahiya fîlmê de cûdahiyek mezin çêdibe, ku wekî cûdahiya di endeksa şikestinê, belavbûn û zeliqandinê de tê xuyang kirin.

9. Bandora goşeya çêbûna buharê

Goşeya ketina buharê behsa goşeya di navbera rêça tîrêjên molekulî yên buharê û normala rûyê substrata pêçayî de dike, ku bandorê li taybetmendiyên mezinbûnê û dendika kombûnê ya fîlmê dike, û bandorek mezin li ser îndeksa şikestinê û taybetmendiyên belavbûna fîlmê dike. Ji bo ku fîlmên bi kalîte bilind werin bidestxistin, pêdivî ye ku goşeya derketina mirovan a molekulên buharê yên materyalê fîlmê were kontrol kirin, ku bi gelemperî divê bi 30° ve were sînordar kirin.

10. Bandorên dermankirina nanpêjandinê

Dermankirina germê ya fîlmê di atmosferê de ji bo berdana stresê û koçberiya germî ya molekulên gaza hawîrdorê û molekulên fîlmê alîkar e, û dikare avahiya fîlmê ji nû ve kombînasyonê çêbike, ji ber vê yekê bandorek mezin li ser endeksa şikestinê, stres û hişkbûna fîlmê dike.