Teknolojiya CVD li ser reaksiyona kîmyewî ye. Reaksiyona ku tê de reaktant di rewşa gazê de ne û yek ji berheman di rewşa hişk de ye, bi gelemperî wekî reaksiyona CVD tê binavkirin, ji ber vê yekê divê pergala reaksiyona kîmyewî ya wê sê şertên jêrîn bicîh bîne.
(1) Di germahiya danînê de, divê zexta buxara reaktantan têra xwe bilind be. Ger hemû reaktant di germahiya odeyê de gaz bin, amûra danînê nisbeten hêsan e, ger di germahiya odeyê de reaktant pir piçûk bin, divê ew were germ kirin da ku ew biherike, û carinan jî hewce ye ku gaza hilgir were bikar anîn da ku ew bigihîne odeya reaksiyonê.
(2) Ji berhemên reaksiyonê, divê hemû made di rewşa gazê de bin ji bilî depoya xwestî, ku di rewşa hişk de ye.
(3) Divê zexta buhara fîlma razandî têra xwe nizm be da ku piştrast bike ku fîlma razandî di dema reaksiyona razandinê de bi awayekî zexm bi substratekê ve girêdayî ye ku germahiyek diyarkirî heye. Divê zexta buhara materyalê substratê di germahiya razandinê de jî têra xwe nizm be.
Reaktantên depozîsyonê li sê dewletên sereke yên jêrîn têne dabeş kirin.
(1) Rewşa gazê. Materyalên çavkanî yên ku di germahiya odeyê de gaz in, wek metan, karbondîoksît, amonyak, klor, û hwd., ku ji bo pêkhatina buhara kîmyewî herî guncaw in, û rêjeya herikînê bi hêsanî tê rêkxistin.
(2) Şile. Hin madeyên reaksiyonê di germahiya odeyê an germahiyek hinekî bilindtir de, zexta buxarê bilind e, wek TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, û hwd., dikarin werin bikar anîn da ku gaz (wek H2, N2, Ar) bi riya rûyê şile an şileya di nav bilbilê de derbas bikin, û dûv re buxarên têrbûyî yên madeyê bibin studyoyê.
(3) Rewşa hişk. Di nebûna çavkaniyek gaz an şilek a guncaw de, tenê madeyên xav ên rewşa hişk dikarin werin bikar anîn. Hin hêman an pêkhateyên wan di sedan pileyan de zexta buharê ya berbiçav heye, wek TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, û hwd., dikarin bi karanîna gaza hilgir a ku di nav qata fîlmê de tê razandin, werin birin studyoyê.
Rewşa herî gelemper bi rêya reaksiyona gazek diyarkirî û madeya çavkaniyê gaz-hişk an gaz-şilek, pêkhateyên gaz ên guncaw ji bo radestkirina studyoyê çêdibin. Bo nimûne, gaza HCl û metala Ga reaksiyon dikin û pêkhateya gaz GaCl çêdikin, ku bi şiklê GaCl ji studyoyê re tê veguhastin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 16ê Mijdarê-2023