펌핑 시스템의 진공 코팅 기계에는 다음과 같은 기본 요구 사항이 있습니다.
(1) 코팅 진공 시스템은 충분히 큰 펌핑 속도를 가져야 하며, 코팅 공정 중에 기판 및 증발된 물질 및 진공 챔버 내의 구성 요소에서 방출되는 가스를 빠르게 펌핑할 뿐만 아니라 스퍼터링 및 이온 코팅 공정에서 방출되는 가스뿐만 아니라 스퍼터링 및 이온 코팅 공정과 시스템의 가스 누출도 빠르게 펌핑할 수 있어야 한다.
스퍼터링 및 이온 코팅 공정 중 발생하는 가스 누출도 신속하게 제거할 수 있습니다. 코팅 장비의 생산성을 향상시키려면 빠른 작동이 필수적입니다.
(2) 코팅기 펌핑 시스템의 최종 진공도는 필름 종류에 따라 달라야 한다. 표 7-9는 필름 종류에 따른 코팅 공정에 필요한 진공도 범위를 나타낸다.
(3) 오일 확산 펌프를 주 펌프 펌핑 시스템으로 사용하는 경우, 펌프의 오일 회수율은 가능한 한 낮아야 합니다. 회수되는 오일 증기가 공작물 표면을 오염시키고 필름 품질을 저하시키기 때문입니다. 코팅 공정에서 필름 품질에 대한 요구 사항이 특히 높으므로, 무오일 펌핑 시스템을 사용하는 것이 가장 좋습니다. 오일 확산 펌프 펌핑 시스템을 사용할 때는 펌프 입구에 흡착 트랩, 콜드 트랩 등의 부품을 설치하고, 부품의 전도도에 주의를 기울여 진공 시스템이 최대 펌핑 속도를 유지하도록 해야 합니다.
(4) 진공 코팅 챔버와 그 펌핑 시스템의 누출률은 작아야 합니다. 즉, 미량의 가스 누출이라도 필름 품질에 영향을 미칩니다. 따라서 시스템의 밀봉 성능을 보장하기 위해서는 시스템의 총 누출률을 허용 범위 내로 제한해야 합니다.
(5) 진공시스템의 운전, 사용 및 유지관리는 편리하고 안정적이며 신뢰성 있는 성능을 가져야 한다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2023년 12월 14일