ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿನ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಮೂಲಭೂತ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
(1) ಲೇಪನ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಸಾಕಷ್ಟು ದೊಡ್ಡ ಪಂಪಿಂಗ್ ದರವನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು, ಇದು ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರ ಮತ್ತು ಆವಿಯಾದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಬಿಡುಗಡೆಯಾದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿರುವ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಪಂಪ್ ಮಾಡುವುದಲ್ಲದೆ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಬಿಡುಗಡೆಯಾದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹಾಗೂ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಅನಿಲ ಸೋರಿಕೆಯನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಪಂಪ್ ಮಾಡಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ.
ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಸೋರಿಕೆಯನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಬಹುದು. ಲೇಪನ ಯಂತ್ರದ ಉತ್ಪಾದಕತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ಅದು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ.
(2) ಲೇಪನ ಯಂತ್ರದ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತವು ವಿಭಿನ್ನ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರಬೇಕು. ಕೋಷ್ಟಕ 7-9 ವಿಭಿನ್ನ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿಯ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಾಗಿದೆ.
(3) ಮುಖ್ಯ ಪಂಪ್ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವಂತೆ, ತೈಲ ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್ನಲ್ಲಿ, ಪಂಪ್ನ ತೈಲ ಹಿಂತಿರುಗಿಸುವ ದರವು ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಹಿಂತಿರುಗುವ ತೈಲ ಆವಿಯು ವರ್ಕ್ಪೀಸ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಕುಸಿಯಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಫಿಲ್ಮ್ನಲ್ಲಿ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿರುತ್ತವೆ, ತೈಲ-ಮುಕ್ತ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಉತ್ತಮ. ತೈಲ ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, ಪಂಪ್ ಇನ್ಲೆಟ್ ಆಡ್ಸರ್ಪ್ಷನ್ ಟ್ರಾಪ್, ಕೋಲ್ಡ್ ಟ್ರಾಪ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳಲ್ಲಿ ಹೊಂದಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಗರಿಷ್ಠ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಘಟಕಗಳ ವಾಹಕತೆಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಬೇಕು.
(4) ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿ ಮತ್ತು ಅದರ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸೋರಿಕೆ ದರವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರಬೇಕು, ಅಂದರೆ, ಅದು ಟ್ರೇಸ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಸೋರಿಕೆಯಾಗಿದ್ದರೂ ಸಹ, ಅದು ಫಿಲ್ಮ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸೀಲಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಒಟ್ಟು ಸೋರಿಕೆ ದರವನ್ನು ಅನುಮತಿಸುವ ವ್ಯಾಪ್ತಿಗೆ ಸೀಮಿತಗೊಳಿಸಬೇಕು.
(5) ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ, ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ ಅನುಕೂಲಕರ, ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು.
–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್-14-2023