ម៉ាស៊ីនបំប្លែងសារធាតុ Sputter ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាប្រព័ន្ធ sputtering គឺជាឧបករណ៍ឯកទេសខ្ពស់ដែលប្រើក្នុងដំណើរការដាក់ស្រទាប់ស្តើង។ វាដំណើរការលើគោលការណ៍នៃការបញ្ចេញទឹករំអិល ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការទម្លាក់គ្រាប់បែកទៅលើវត្ថុគោលដៅដែលមានអ៊ីយ៉ុង ឬអាតូមដែលមានថាមពលខ្ពស់។ ដំណើរការនេះបញ្ចេញស្ទ្រីមអាតូមចេញពីវត្ថុធាតុគោលដៅ ដែលបន្ទាប់មកដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។
ការប្រើប្រាស់ម៉ាស៊ីនកំចាត់កំទិចកំទីបានពង្រីកយ៉ាងខ្លាំងដោយសារតែសមត្ថភាពផលិតខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានល្អ និងកម្រាស់ដែលអាចគ្រប់គ្រងបាន។ ខ្សែភាពយន្តបែបនេះមានកម្មវិធីធំទូលាយនៅក្នុងមីក្រូអេឡិចត្រូនិច អុបទិក កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ ប្រព័ន្ធផ្ទុកម៉ាញេទិក និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។
ការវិវឌ្ឍន៍ថ្មីៗក្នុងវិស័យម៉ាស៊ីនបំប្លែងទឹកបានបណ្តាលឱ្យមានមុខងារប្រសើរឡើង និងលក្ខណៈប្រសើរឡើង។ ភាពជឿនលឿនគួរឱ្យកត់សម្គាល់មួយគឺការបញ្ចូលបច្ចេកវិជ្ជា magnetron sputtering ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានអត្រាការប្រាក់ខ្ពស់ និងគុណភាពខ្សែភាពយន្តប្រសើរឡើង។ ការច្នៃប្រឌិតថ្មីនេះអនុញ្ញាតឱ្យមានការទម្លាក់វត្ថុធាតុជាច្រើន រួមទាំងលោហធាតុ អុកស៊ីដលោហៈ និងសារធាតុ semiconductors ។
បន្ថែមពីលើនេះ ពេលនេះម៉ាស៊ីនទម្លាក់គ្រាប់បែកត្រូវបានបំពាក់ដោយប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងកម្រិតខ្ពស់ដែលធានាបាននូវការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់នៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការដាក់ប្រាក់ដូចជាសម្ពាធឧស្ម័ន ដង់ស៊ីតេថាមពល សមាសភាពគោលដៅ និងសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម។ ភាពជឿនលឿនទាំងនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការភាពយន្ត និងអាចឱ្យការផលិតខ្សែភាពយន្តដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិសមស្របតាមកម្មវិធីជាក់លាក់។
លើសពីនេះ ការអភិវឌ្ឍន៍ជាបន្តបន្ទាប់ក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាណាណូក៏ទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍យ៉ាងច្រើនពីម៉ាស៊ីនបូមធូលី។ អ្នកស្រាវជ្រាវកំពុងប្រើប្រាស់ម៉ាស៊ីនទាំងនេះដើម្បីបង្កើត nanostructures និង nanostructured coatings ជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុត។ ម៉ាស៊ីនបំប្លែងសារធាតុ Sputter មានសមត្ថភាពដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងលើទម្រង់ស្មុគស្មាញ និងតំបន់ធំ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីណាណូខ្នាតផ្សេងៗគ្នា។
កាលពីពេលថ្មីៗនេះ មានសេចក្តីរាយការណ៍ថា ក្រុមអ្នកវិទ្យាសាស្ត្រមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវដ៏ល្បីមួយ បានបង្កើតដោយជោគជ័យនូវម៉ាស៊ីនបូមធូលីថ្មីមួយ ដែលអាចដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមក។ ម៉ាស៊ីនដ៏ទំនើបនេះរួមបញ្ចូលនូវក្បួនដោះស្រាយការគ្រប់គ្រងដ៏ទំនើប និងការរចនាម៉ាញេទិកប្រលោមលោក ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពស្មើគ្នានៃខ្សែភាពយន្ត និងការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ក្រុមស្រាវជ្រាវស្រមៃថាម៉ាស៊ីនរបស់ខ្លួននឹងធ្វើបដិវត្តដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជំនាន់ក្រោយ និងប្រព័ន្ធផ្ទុកថាមពល។
ការបង្កើតសម្ភារៈថ្មីជាមួយនឹងមុខងារប្រសើរឡើងគឺជាការខិតខំប្រឹងប្រែងឥតឈប់ឈររបស់សហគមន៍វិទ្យាសាស្ត្រ។ ម៉ាស៊ីនបំផ្ទុះ Sputter បានក្លាយជាឧបករណ៍ដែលមិនអាចខ្វះបានក្នុងការរុករកនេះ ដែលជួយសម្រួលដល់ការរកឃើញ និងការសំយោគវត្ថុធាតុថ្មីដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិពិសេស។ អ្នកស្រាវជ្រាវកំពុងប្រើប្រាស់ម៉ាស៊ីនទាំងនេះដើម្បីសិក្សាពីយន្តការនៃការលូតលាស់ខ្សែភាពយន្ត សម្ភារៈសិក្សាដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិសមស្រប និងស្វែងរកសម្ភារៈថ្មីៗដែលអាចកំណត់អនាគតនៃបច្ចេកវិទ្យា។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ៣០ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៣
