សម្ភារៈគោលដៅទូទៅមួយចំនួន

1. Chromium កំណត់គោលដៅ Chromium ជាសម្ភារៈខ្សែភាពយន្ត sputtering គឺមិនត្រឹមតែងាយស្រួលក្នុងការផ្សំជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោមជាមួយនឹងការ adhesion ខ្ពស់, ប៉ុន្តែថែមទាំង chromium និងអុកស៊ីដដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្ត CrO3, លក្ខណៈមេកានិចរបស់ខ្លួន, ធន់ទ្រាំនឹងទឹកអាស៊ីត, ស្ថេរភាពកម្ដៅគឺល្អប្រសើរជាងមុន។ លើសពីនេះទៀត chromium នៅក្នុងស្ថានភាពអុកស៊ីតកម្មមិនពេញលេញក៏អាចបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្រូបយកខ្សោយផងដែរ។ Chromium ដែលមានភាពបរិសុទ្ធលើសពី 98% ត្រូវបានគេរាយការណ៍ថាត្រូវបានបង្កើតឡើងជាគោលដៅរាងចតុកោណ ឬគោលដៅ chromium ស៊ីឡាំង។ លើសពីនេះទៀតបច្ចេកវិទ្យានៃការប្រើប្រាស់វិធីសាស្រ្ត sintering ដើម្បីធ្វើឱ្យ chromium គោលដៅចតុកោណគឺមានភាពចាស់ទុំផងដែរ។
2. គោលដៅ ITO ការរៀបចំសម្ភារៈគោលដៅខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលធ្លាប់ប្រើកាលពីអតីតកាល ជាធម្មតាបានប្រើសម្ភារៈយ៉ាន់ស្ព័រ In-Sn ដើម្បីបង្កើតគោលដៅ ហើយបន្ទាប់មកនៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូតតាមរយៈអុកស៊ីដ ហើយបន្ទាប់មកបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ITO ។ វិធីសាស្រ្តនេះគឺពិបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងឧស្ម័នប្រតិកម្ម និងមានការបន្តពូជមិនល្អ។ ដូច្នេះក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះត្រូវបានជំនួសដោយ ITO sintering គោលដៅ។ សម្ភារៈគោលដៅរបស់ ITO ដំណើរការធម្មតាគឺយោងទៅតាមសមាមាត្រគុណភាព តាមរយៈវិធីសាស្ត្រកិនបាល់នឹងត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងពេញលេញ ហើយបន្ទាប់មកបន្ថែមសារធាតុផ្សំម្សៅសរីរាង្គពិសេសនឹងត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាទៅក្នុងរូបរាងដែលត្រូវការ ហើយតាមរយៈការបង្រួមដោយសម្ពាធ ហើយបន្ទាប់មកចាននៅលើអាកាសនៅអត្រាកំដៅ 100 ℃/h ដល់ 1600 ℃ បន្ទាប់ពីសង្កត់ 1 ម៉ោង ហើយបន្ទាប់មក សីតុណ្ហភាពបន្ទប់ចុះក្រោម 10 ℃។ អត្រាត្រជាក់នៃ 100 ℃ / h ចុះទៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់និងបានធ្វើ។ នៅពេលបង្កើតគោលដៅ យន្តហោះគោលដៅត្រូវបានទាមទារឱ្យត្រូវប៉ូលា ដើម្បីជៀសវាងចំណុចក្តៅនៅក្នុងដំណើរការផ្លុំ។
3.Gold and gold alloy គោលដៅមាស, luster charming, with good corrosion resistance, is good decorative surface materials. វិធីសាស្រ្តផ្សាំសើមដែលប្រើក្នុងការស្អិតជាប់ក្នុងខ្សែភាពយន្តកន្លងមកគឺតូច កម្លាំងទាប ធន់នឹងសំណឹក ក៏ដូចជាបញ្ហាការបំពុលរាវសំណល់ ដូច្នេះហើយជៀសមិនរួចត្រូវជំនួសដោយបន្ទះស្ងួត។ ប្រភេទ​គោលដៅ​មាន​គោលដៅ​យន្តហោះ គោលដៅ​សមាសធាតុ​មូលដ្ឋាន គោលដៅ​បំពង់ គោលដៅ​បំពង់​សមាសធាតុ​ក្នុង​មូលដ្ឋាន​ជាដើម។ វិធីសាស្រ្តនៃការរៀបចំរបស់វាគឺជាចម្បងតាមរយៈកម្រិតនៃការរលាយខ្វះចន្លោះ, pickling, រមៀលត្រជាក់, annealing, រមូរល្អ, កាត់, ការសម្អាតផ្ទៃ, កញ្ចប់សមាសធាតុរមៀលត្រជាក់និងស៊េរីនៃដំណើរការដូចជាការរៀបចំនៃដំណើរការនេះ។ បច្ចេកវិទ្យានេះបានឆ្លងកាត់ការវាយតម្លៃនៅក្នុងប្រទេសចិន ការប្រើប្រាស់នូវលទ្ធផលល្អ។
4. គោលដៅសម្ភារៈម៉ាញេទិក គោលដៅសម្ភារៈម៉ាញេទិក ត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការដាក់ក្បាលម៉ាញេទិកខ្សែភាពយន្តស្តើង ថាសខ្សែភាពយន្តស្តើង និងឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើងម៉ាញេទិកផ្សេងទៀត។ ដោយសារតែការប្រើប្រាស់វិធីសាស្រ្ត DC magnetron sputtering សម្រាប់វត្ថុធាតុម៉ាញ៉េទិច magnetron sputtering គឺពិបាកជាង។ ដូច្នេះ គោលដៅ CT ដែលហៅថា "ប្រភេទគោលដៅគម្លាត" ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការរៀបចំគោលដៅបែបនេះ។ គោលការណ៍គឺកាត់ចេញនូវចន្លោះជាច្រើនលើផ្ទៃវត្ថុធាតុគោលដៅ ដើម្បីឱ្យប្រព័ន្ធម៉ាញេទិកអាចបង្កើតបាននៅលើផ្ទៃវត្ថុធាតុម៉ាញេទិក គោលដៅលេចធ្លាយដែនម៉ាញេទិក ដូច្នេះផ្ទៃគោលដៅអាចបង្កើតជាដែនម៉ាញេទិករាងពងក្រពើ និងសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃខ្សែភាពយន្តម៉ាញ៉េទិច។ វាត្រូវបានគេនិយាយថាកម្រាស់នៃសម្ភារៈគោលដៅនេះអាចឈានដល់ 20mm ។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ