សេចក្តីណែនាំអំពីការបំភាយចំហាយទឹក ការបញ្ចេញទឹករំអិល និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង

ថ្នាំកូត Vacuum រួមបញ្ចូលជាចម្បងទៅលើការបំភាយចំហាយទឹក ថ្នាំកូត sputtering និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង ដែលទាំងអស់នេះត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តលោហៈ និងមិនមែនលោហធាតុផ្សេងៗ ទៅលើផ្ទៃផ្លាស្ទិចដោយការចំហ ឬស្ពែមនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ ដែលអាចទទួលបានថ្នាំកូតផ្ទៃស្តើងខ្លាំង ជាមួយនឹងអត្ថប្រយោជន៍ដ៏លេចធ្លោនៃការស្អិតជាប់បានលឿន ប៉ុន្តែតម្លៃក៏ខ្ពស់ជាងដែរ ហើយប្រភេទដែកដែលអាចប្រើបានគឺទូទៅ។ ផលិតផលកម្រិតខ្ពស់។
ការបំភាយដោយចំហាយទឹក គឺជាវិធីសាស្រ្តនៃការកំដៅលោហៈនៅក្រោមកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ធ្វើឱ្យវារលាយ ហួត និងបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តដែកស្តើងមួយនៅលើផ្ទៃនៃគំរូបន្ទាប់ពីត្រជាក់ជាមួយនឹងកម្រាស់ 0.8-1.2 um ។ វាបំពេញផ្នែកតូចៗ និងប៉ោងនៅលើផ្ទៃនៃផលិតផលដែលបានបង្កើតឡើង ដើម្បីទទួលបានផ្ទៃដូចកញ្ចក់។ នៅពេលដែលការបំភាយចំហាយទឹកត្រូវបានអនុវត្ត ដើម្បីទទួលបានឥទ្ធិពលកញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំង ឬដើម្បីបូមធូលីដែកដែលមានភាពស្អិតជាប់ទាប ផ្ទៃខាងក្រោមត្រូវតែស្រោប។

Sputtering ជាធម្មតាសំដៅទៅលើការ sputtering magnetron ដែលជាវិធីសាស្ត្រ sputtering សីតុណ្ហភាពទាបដែលមានល្បឿនលឿន។ ដំណើរការនេះតម្រូវឱ្យមានការខ្វះចន្លោះប្រហែល 1×10-3Torr ដែលជាស្ថានភាពខ្វះចន្លោះ 1.3×10-3Pa ដែលពោរពេញទៅដោយឧស្ម័នអសកម្ម argon (Ar) និងរវាងស្រទាប់ខាងក្រោមផ្លាស្ទិច (anode) និងគោលដៅលោហៈ (cathode) បូកនឹងចរន្តផ្ទាល់ដែលមានតង់ស្យុងខ្ពស់ ដោយសារតែការរំភើបអេឡិចត្រុងនៃឧស្ម័នអសកម្មដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញពន្លឺនៃប្លាស្ទីម៉ា ការបញ្ចេញសារធាតុ produ នៃគោលដៅលោហៈ ហើយដាក់ពួកវានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមប្លាស្ទិក។ ភាគច្រើននៃថ្នាំកូតលោហធាតុទូទៅប្រើ DC sputtering ខណៈពេលដែលសមា្ភារៈសេរ៉ាមិចមិន conductive ប្រើ RF AC sputtering ។

ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងគឺជាវិធីសាស្រ្តមួយដែលការបញ្ចេញឧស្ម័នត្រូវបានប្រើដើម្បីបំភាយឧស្ម័នឬសារធាតុហួតដោយផ្នែកនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ ហើយសារធាតុហួត ឬប្រតិកម្មរបស់វាត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដោយការទម្លាក់អ៊ីយ៉ុងឧស្ម័ន ឬអ៊ីយ៉ុងនៃសារធាតុហួត។ ទាំងនេះរួមមាន ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង magnetron sputtering ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងប្រតិកម្ម ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញ cathode ប្រហោង (វិធីសាស្ត្របញ្ចេញចំហាយទឹក cathode ប្រហោង) និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងពហុធ្នូ (ថ្នាំកូត cathode arc ion coating) ។

មេដែក​ពីរ​ជ្រុង​បញ្ឈរ​ដែល​ស្រោប​ជា​បន្តបន្ទាប់​គ្នា​ជា​ជួរ
ភាពអាចអនុវត្តបានយ៉ាងទូលំទូលាយ អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ផលិតផលអេឡិចត្រូនិកដូចជា ស្រទាប់ការពារ EMI សំបកកុំព្យូទ័រ ផលិតផលសំប៉ែត និងសូម្បីតែផលិតផលពែងចង្កៀងទាំងអស់ដែលស្ថិតក្នុងកម្រិតជាក់លាក់មួយអាចផលិតបាន។ សមត្ថភាពផ្ទុកធំ ការតោងបង្រួម និងការគៀបជាប់គាំងនៃពែងពន្លឺរាងសាជីសម្រាប់ថ្នាំកូតទ្វេភាគី ដែលអាចមានសមត្ថភាពផ្ទុកធំជាង។ គុណភាពមានស្ថេរភាព ភាពជាប់លាប់ល្អនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តពីបាច់ទៅបាច់។ កម្រិតខ្ពស់នៃស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងតម្លៃពលកម្មទាប។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ