បច្ចេកវិទ្យា CVD គឺផ្អែកលើប្រតិកម្មគីមី។ ប្រតិកម្មដែលសារធាតុប្រតិកម្មស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពឧស្ម័ន ហើយផលិតផលមួយស្ថិតក្នុងសភាពរឹង ជាធម្មតាត្រូវបានគេហៅថាប្រតិកម្ម CVD ដូច្នេះប្រព័ន្ធប្រតិកម្មគីមីរបស់វាត្រូវតែបំពេញលក្ខខណ្ឌបីដូចខាងក្រោម។
(1) នៅសីតុណ្ហភាពនៃការបញ្ចេញ ប្រតិកម្មត្រូវតែមានសម្ពាធចំហាយខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់។ ប្រសិនបើ reactants មានឧស្ម័នទាំងអស់នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ឧបករណ៍បំប្លែងគឺសាមញ្ញណាស់ ប្រសិនបើប្រតិកម្មងាយនឹងបង្កជាហេតុនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់គឺតូចណាស់ វាត្រូវការកំដៅដើម្បីឱ្យវាងាយនឹងបង្កជាហេតុ ហើយជួនកាលត្រូវប្រើឧស្ម័នបញ្ជូនដើម្បីនាំវាទៅបន្ទប់ប្រតិកម្ម។
(2) នៃផលិតផលប្រតិកម្ម សារធាតុទាំងអស់ត្រូវតែស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពឧស្ម័ន លើកលែងតែប្រាក់បញ្ញើដែលចង់បាន ដែលស្ថិតក្នុងសភាពរឹង។
(3) សម្ពាធចំហាយនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ទុកគួរតែមានកម្រិតទាបគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីធានាថាខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ត្រូវបានភ្ជាប់យ៉ាងរឹងមាំទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយកំឡុងពេលប្រតិកម្មនៃការដាក់ប្រាក់។ សម្ពាធចំហាយនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមនៅសីតុណ្ហភាពនៃការដាក់បញ្ចូលក៏ត្រូវតែទាបគ្រប់គ្រាន់ដែរ។
ប្រតិកម្មនៃការធ្លាក់ចុះត្រូវបានបែងចែកជាបីរដ្ឋសំខាន់ដូចខាងក្រោម។
(1) ស្ថានភាពឧស្ម័ន។ វត្ថុធាតុដើមដែលមានឧស្ម័ននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ដូចជា មេតាន កាបូនឌីអុកស៊ីត អាម៉ូញាក់ ក្លរីន ជាដើម ដែលអំណោយផលបំផុតដល់ការបំភាយចំហាយគីមី ហើយអត្រាលំហូរត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងងាយស្រួល។
(2) រាវ។ សារធាតុប្រតិកម្មមួយចំនួននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ឬសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបន្តិច មានសម្ពាធចំហាយខ្ពស់ដូចជា TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3 ជាដើម អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដឹកឧស្ម័ន (ដូចជា H2, N2, Ar) ហូរកាត់ផ្ទៃរាវ ឬវត្ថុរាវនៅខាងក្នុងពពុះ ហើយបន្ទាប់មកបញ្ជូនចំហាយឆ្អែតនៃសារធាតុចូលទៅក្នុងស្ទូឌីយោ។
(3) សភាពរឹង។ អវត្ដមាននៃប្រភពឧស្ម័ន ឬរាវសមរម្យ មានតែចំណីក្នុងសភាពរឹងប៉ុណ្ណោះដែលអាចប្រើបាន។ ធាតុមួយចំនួន ឬសមាសធាតុរបស់វាក្នុងរយដឺក្រេមានសម្ពាធចំហាយដ៏សន្ធឹកសន្ធាប់ ដូចជា TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 ជាដើម អាចយកទៅក្នុងស្ទូឌីយ៉ូ ដោយប្រើឧស្ម័នដឹកជញ្ជូនដែលដាក់ចូលទៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
ប្រភេទស្ថានភាពទូទៅជាងតាមរយៈឧស្ម័នជាក់លាក់មួយ និងសម្ភារៈប្រភពប្រតិកម្មឧស្ម័ន - រឹង ឬឧស្ម័ន - រាវ ការបង្កើតសមាសធាតុឧស្ម័នសមស្របទៅនឹងការចែកចាយស្ទូឌីយោ។ ឧទាហរណ៍ ឧស្ម័ន HCl និងលោហៈ Ga មានប្រតិកម្មដើម្បីបង្កើតសមាសធាតុឧស្ម័ន GaCl ដែលត្រូវបានបញ្ជូនទៅស្ទូឌីយ៉ូក្នុងទម្រង់ជា GaCl ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៣