Сорғы жүйесіндегі вакуумдық жабын машинасына келесі негізгі талаптар қойылады:
(1) Қаптау вакуумдық жүйесінің жеткілікті үлкен айдау жылдамдығы болуы керек, ол жабын процесі кезінде субстраттан және буланған материалдардан және вакуумдық камерадағы құрамдас бөліктерден бөлінетін газдарды жылдам сорып қана қоймай, сонымен қатар шашырату және ионды жабу процесінде, сондай-ақ газдың ағуы мен лактау жүйесінің газдың ағуын және котеру процесінде шашырауды тез айдай алуы керек.
Шашырату және ионды жабу процесінде газдың ағып кетуін де тез алуға болады. Қаптау машинасының өнімділігін арттыру үшін ол тез жұмыс істеуі керек.
(2) Қаптау машинасының сорғы жүйесінің соңғы вакуумы әртүрлі пленкалардың талаптарына сәйкес әртүрлі болуы керек. 7-9-кесте әртүрлі пленкаларды жабу процесіне қажетті вакуумдық дәреже диапазоны.
(3) Мұнай диффузиялық сорғыда негізгі сорғы айдау жүйесі сорғының майды қайтару жылдамдығын мүмкіндігінше аз болуын талап етеді, өйткені қайтарылатын май буы дайындаманың бетін ластайды және пленка сапасының төмендеуіне әкеледі. Пленка сапасына қойылатын талаптар жабын процесінде әсіресе жоғары, майсыз сорғы жүйесін қолданған дұрыс. Мұнай диффузиялық сорғы сорғы жүйесін пайдаланған кезде сорғы кірісіне адсорбциялық тұзаққа, суық ұстағышқа және басқа компоненттерге орнатылуы керек және вакуумдық жүйенің максималды айдау жылдамдығын ұстап тұруын қамтамасыз ету үшін компоненттердің өткізгіштігіне назар аудару керек.
(4) Вакуумдық жабын камерасының және оның сорғы жүйесінің ағып кету жылдамдығы аз болуы керек, яғни ол ізді газдың ағуы болса да, ол пленка сапасына әсер етеді. Сондықтан жүйенің герметизациялық өнімділігін қамтамасыз ету үшін жүйенің жалпы ағып кету жылдамдығы рұқсат етілген диапазонмен шектелуі керек.
(5) Вакуумдық жүйені пайдалану, пайдалану және техникалық қызмет көрсету ыңғайлы, тұрақты және сенімді өнімділік болуы керек.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 14 желтоқсан 2023 ж