Шашырату жүйелері деп те белгілі шашыранды тұндыру машиналары жұқа қабықшаны тұндыру процесінде қолданылатын жоғары мамандандырылған жабдық болып табылады. Ол мақсатты материалды жоғары энергиялы иондармен немесе атомдармен бомбалауды қамтитын шашырату принципі бойынша жұмыс істейді. Процесс мақсатты материалдан атомдар ағынын шығарады, содан кейін ол жұқа пленка қалыптастыру үшін субстратқа қойылады.
Шашыратқышты тұндыру машиналарын қолдану олардың жоғары тазалығы, тамаша біркелкілігі және бақыланатын қалыңдығы бар қабыршақтарды алу қабілетіне байланысты айтарлықтай кеңейді. Мұндай пленкалар микроэлектроникада, оптикада, күн батареяларында, магнитті сақтау орталарында және басқа салаларда кең қолданылады.
Шашыратқышты тұндыру машиналары саласындағы соңғы әзірлемелер жақсартылған функционалдылық пен жақсартылған сипаттамаларға әкелді. Магнетронды шашырату технологиясының енгізілуі елеулі жетістік болып табылады, бұл тұндыру жылдамдығын жоғарылатуға және пленка сапасын жақсартуға мүмкіндік береді. Бұл инновация әртүрлі материалдарды, соның ішінде металдарды, металл оксидтерін және жартылай өткізгіштерді тұндыруға мүмкіндік береді.
Бұдан басқа, шашыратқышты тұндыру машиналары қазір газ қысымы, қуат тығыздығы, мақсатты құрам және субстрат температурасы сияқты тұндыру параметрлерін дәл бақылауды қамтамасыз ететін жетілдірілген басқару жүйелерімен жабдықталған. Бұл жетістіктер пленка өнімділігін жақсартады және арнайы қолданбаларға бейімделген қасиеттері бар пленкаларды шығаруға мүмкіндік береді.
Сонымен қатар, нанотехнология саласындағы үздіксіз даму да шашыратқышты тұндыру машиналарынан үлкен пайда әкеледі. Зерттеушілер бұл машиналарды өте жоғары дәлдікпен наноқұрылымдар мен наноқұрылымдық жабындарды жасау үшін пайдаланады. Бүріккіш тұндыру машиналары күрделі пішіндер мен үлкен аумақтарға жұқа қабықшаларды қоюға қабілетті, бұл оларды әртүрлі наноөлшемді қолданбалар үшін өте қолайлы етеді.
Жақында белгілі ғылыми-зерттеу мекемесінің ғалымдар тобы жұқа қабықшаларды бұрын-соңды болмаған дәлдікпен тұндыра алатын жаңа шашыратқыш тұндыру машинасын сәтті жасағаны туралы хабарланды. Бұл алдыңғы қатарлы машина пленканың біркелкілігі мен қалыңдығын басқарудың жоғары деңгейіне қол жеткізу үшін заманауи басқару алгоритмдерін және жаңа магнетрон дизайнын біріктіреді. Зерттеу тобы оның машинасы келесі буын электрондық құрылғылар мен энергия сақтау жүйелерін өндіру процесінде төңкеріс жасайды деп болжайды.
Жақсартылған функционалдығы бар жаңа материалдарды әзірлеу – ғылыми қауымдастықтың тынымсыз ізденісі. Шөгінділерді тұндыру машиналары бірегей қасиеттері бар жаңа материалдарды ашуға және синтездеуге көмектесетін бұл барлаудың таптырмас құралы болды. Зерттеушілер бұл машиналарды пленканың өсу механизмдерін зерттеу, арнайы қасиеттері бар материалдарды зерттеу және технологияның болашағын қалыптастыратын жаңа материалдарды ашу үшін пайдаланады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 30 қазан 2023 ж