Процесс элементтері және әрекеті Жұқа пленка құрылғыларының сапасына әсер ететін механизмдер (2-бөлім)

3. Субстрат температурасының әсері

Субстрат температурасы мембрана өсуінің маңызды шарттарының бірі болып табылады. Ол мембрана атомдарына немесе молекулаларына қосымша энергиямен қамтамасыз етеді және негізінен мембрана құрылымына, агглютинация коэффициентіне, кеңею коэффициентіне және агрегация тығыздығына әсер етеді. Қабықшаның сыну көрсеткішіндегі макроскопиялық шағылысу, шашырау, кернеу, адгезия, қаттылық және ерімейтіндік субстрат температурасының әртүрлі болуына байланысты айтарлықтай ерекшеленеді.

(1) Суық субстрат: әдетте металл пленканы булану үшін қолданылады.

(2) Жоғары температураның артықшылықтары:

① субстрат бетінде адсорбцияланған қалдық газ молекулалары субстрат пен тұндырылған молекулалар арасындағы байланыстыру күшін арттыру үшін жойылады;

(2) физикалық адсорбцияның пленка қабатының хемосорбциясына айналуына ықпал ету, молекулалар арасындағы өзара әрекеттесуді күшейту, пленканы тығыз ету, адгезияны арттыру және механикалық беріктікті жақсарту;

③ Будың молекулалық қайта кристалдану температурасы мен субстрат температурасы арасындағы айырмашылықты азайтыңыз, пленка қабатының тығыздығын жақсартыңыз, ішкі кернеуді жою үшін пленка қабатының қаттылығын арттырыңыз.

(3) Тым жоғары температураның кемшілігі: пленка қабатының құрылымы өзгереді немесе пленка материалы ыдырайды.

4. Иондық бомбалаудың әсері

Жақтаудан кейінгі бомбалау: пленканың агрегация тығыздығын жақсарту, химиялық реакцияны күшейту, оксидті қабықтың сыну көрсеткішін, механикалық беріктік пен қарсылықты және адгезияны арттыру. Жарық зақымдану шегі артады.
5. Субстрат материалының әсері

(1) Субстрат материалының әртүрлі кеңею коэффициенті пленканың әртүрлі термиялық кернеуіне әкеледі;

(2) Әртүрлі химиялық жақындық пленканың адгезиясы мен беріктігіне әсер етеді;

(3) Субстраттың кедір-бұдыры мен ақаулары жұқа қабықшаның шашырауының негізгі көзі болып табылады.
6. Астарды тазалаудың әсері

Субстрат бетіндегі кір мен жуғыш заттың қалдықтары мыналарға әкеледі: (1) пленканың негізге нашар адгезиясы; ② Шашырауды сіңіру жоғарылайды, лазерге қарсы қабілеті нашар; ③ Жарықтың нашар өтуі.

Пленканың құрылымы мен өнімділігіне химиялық құрамы (тазалық пен қоспа түрлері), физикалық күйі (ұнтақ немесе блок) және алдын ала өңдеу (вакуумды агломерация немесе соғу) әсер етеді.

8. Булану әдісінің әсері

Молекулалар мен атомдарды булану үшін әртүрлі булану әдістерімен қамтамасыз етілген бастапқы кинетикалық энергия өте әртүрлі, нәтижесінде қабықшаның құрылымында үлкен айырмашылық пайда болады, бұл сыну көрсеткішінің, шашыраудың және адгезияның айырмашылығы ретінде көрінеді.

9. Будың түсуінің әсері

Будың түсу бұрышы будың молекулалық сәулелену бағыты мен қапталған субстраттың бетінің нормасы арасындағы бұрышты білдіреді, ол қабықтың өсу сипаттамаларына және агрегаттық тығыздығына әсер етеді және қабықтың сыну көрсеткіші мен шашырау сипаттамаларына үлкен әсер етеді. Жоғары сапалы пленкаларды алу үшін пленка материалының бу молекулаларының адам шығару бұрышын бақылау қажет, ол әдетте 30°-пен шектелуі керек.

10. Нан пісірумен өңдеудің әсері

Атмосферада пленканың термиялық өңдеуі қоршаған газ молекулалары мен пленка молекулаларының кернеуді босатуға және термиялық миграциясына ықпал етеді және пленка рекомбинациясының құрылымын жасай алады, сондықтан ол сыну көрсеткішіне, пленканың кернеуіне және қаттылығына үлкен әсер етеді.