გაფრქვევით დეპონირების მანქანები, ასევე ცნობილი როგორც გაფრქვევის სისტემები, წარმოადგენს მაღალ სპეციალიზებულ აღჭურვილობას, რომელიც გამოიყენება თხელი ფენის დეპონირების პროცესში. ის მუშაობს გაფრქვევის პრინციპზე, რაც გულისხმობს სამიზნე მასალის დაბომბვას მაღალი ენერგიის იონებით ან ატომებით. პროცესი სამიზნე მასალიდან გამოტყორცნის ატომების ნაკადს, რომელიც შემდეგ ილექება სუბსტრატზე თხელი ფენის წარმოსაქმნელად.
გაფრქვევით დეპონირების აპარატების გამოყენება მნიშვნელოვნად გაფართოვდა მაღალი სისუფთავის, შესანიშნავი ერთგვაროვნებისა და კონტროლირებადი სისქის მქონე ფირების წარმოების მათი უნარის გამო. ასეთ ფირებს ფართო გამოყენება აქვთ მიკროელექტრონიკაში, ოპტიკაში, მზის ელემენტებში, მაგნიტურ შესანახ მედიასაშუალებებსა და სხვა სფეროებში.
გაფრქვევით დალექვის აპარატების სფეროში ბოლო დროს განვითარებულმა მოვლენებმა გააუმჯობესა ფუნქციონალურობა და მახასიათებლები. მნიშვნელოვანი წინსვლაა მაგნეტრონული გაფრქვევის ტექნოლოგიის დანერგვა, რაც საშუალებას იძლევა უფრო მაღალი დეპონირების სიჩქარისა და გაუმჯობესებული ფირის ხარისხის მისაღწევად. ეს ინოვაცია საშუალებას იძლევა სხვადასხვა მასალის, მათ შორის ლითონების, ლითონის ოქსიდების და ნახევარგამტარების, დეპონირების.
გარდა ამისა, გაფრქვევით დალექვის მანქანები ამჟამად აღჭურვილია მოწინავე მართვის სისტემებით, რომლებიც უზრუნველყოფენ დალექვის პარამეტრების, როგორიცაა გაზის წნევა, სიმძლავრის სიმკვრივე, სამიზნე შემადგენლობა და სუბსტრატის ტემპერატურა, ზუსტ კონტროლს. ეს მიღწევები აუმჯობესებს ფირის მუშაობას და საშუალებას იძლევა წარმოიქმნას ფირები, რომელთა თვისებები მორგებულია კონკრეტულ გამოყენებაზე.
გარდა ამისა, ნანოტექნოლოგიის სფეროს უწყვეტი განვითარება ასევე დიდ სარგებელს მოაქვს გაფრქვევით დალექვის აპარატებით. მკვლევარები იყენებენ ამ მანქანებს ნანოსტრუქტურებისა და ნანოსტრუქტურირებული საფარის შესაქმნელად უკიდურესად მაღალი სიზუსტით. გაფრქვევით დალექვის აპარატებს შეუძლიათ თხელი ფენების დატანა რთულ ფორმებსა და დიდ ფართობებზე, რაც მათ იდეალურს ხდის ნანომასშტაბიანი სხვადასხვა აპლიკაციებისთვის.
ცოტა ხნის წინ გავრცელდა ინფორმაცია, რომ ცნობილი კვლევითი ინსტიტუტის მეცნიერთა გუნდმა წარმატებით შეიმუშავა ახალი გაფრქვევით დეპონირების მანქანა, რომელსაც შეუძლია თხელი ფენების უპრეცედენტო სიზუსტით დეპონირება. ეს უახლესი მანქანა აერთიანებს უახლეს მართვის ალგორითმებს და ახალ მაგნეტრონულ დიზაინს ფენის უმაღლესი ერთგვაროვნებისა და სისქის კონტროლის მისაღწევად. კვლევითი ჯგუფი ვარაუდობს, რომ მისი მანქანა რევოლუციას მოახდენს ახალი თაობის ელექტრონული მოწყობილობებისა და ენერგიის შენახვის სისტემების წარმოების პროცესში.
გაუმჯობესებული ფუნქციონალურობით ახალი მასალების შემუშავება სამეცნიერო საზოგადოების დაუღალავი საქმიანობაა. გაფრქვევით დეპონირების მანქანები ამ კვლევაში შეუცვლელ ინსტრუმენტად იქცა, რაც ხელს უწყობს უნიკალური თვისებების მქონე ახალი მასალების აღმოჩენასა და სინთეზს. მკვლევარები ამ მანქანებს იყენებენ ფირის ზრდის მექანიზმების შესასწავლად, მორგებული თვისებების მქონე მასალების შესასწავლად და ახალი მასალების აღმოსაჩენად, რომლებსაც შეუძლიათ ტექნოლოგიის მომავლის ჩამოყალიბება.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 30 ოქტომბერი