Mesin lapisan vakum ing sistem pompa nduweni syarat dhasar ing ngisor iki:
(1) Sistem vakum lapisan kudu duwe tingkat pumping cukup gedhe, kang ngirim ora mung kanthi cepet pumping metu gas dirilis saka landasan lan bahan nguap lan komponen ing kamar vakum sak proses nutupi, nanging uga bisa kanthi cepet pump metu saka gas dirilis saka sputtering lan proses nutupi ion, uga kebocoran gas lan proses lapisan sputter ion.
Kebocoran gas sajrone proses sputtering lan lapisan ion uga bisa diekstrak kanthi cepet. Kanggo nambah produktivitas mesin lapisan, kudu bisa digunakake kanthi cepet.
(2) Vakum pokok saka sistem pumping mesin lapisan kudu beda miturut syarat film beda. Tabel 7-9 minangka kisaran derajat vakum sing dibutuhake dening proses lapisan film sing beda-beda.
(3) Ing pump panyebaran lenga minangka sistem pumping pump utama mbutuhake tingkat bali lenga pump minangka cilik sabisa, amarga beluk lenga bali bakal ngregedi lumahing workpiece lan nimbulaké kualitas film kanggo nolak. Ing syarat kualitas film utamané dhuwur ing proses nutupi, iku paling apik kanggo nggunakake sistem pumping lenga-free. Nalika nggunakake sistem pumping panyebaran lenga, kudu disetel ing pump inlet adsorption trap, trap kadhemen lan komponen liyane, lan kudu mbayar manungsa waé kanggo konduktivitas komponen kanggo mesthekake yen sistem vakum kanggo njaga kacepetan pumping maksimum.
(4) Ing tingkat bocor saka kamar nutupi vakum lan sistem pumping kudu cilik, IE, malah yen bocor gas tilak, iku bakal mengaruhi kualitas film. Mulane, kanggo mesthekake kinerja sealing sistem, tingkat bocor total sistem kudu diwatesi kanggo sawetara allowable.
(5) Operasi sistem vakum, panggunaan lan pangopènan kudu trep, kinerja stabil lan dipercaya.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Dec-14-2023