למכונת ציפוי ואקום על מערכת השאיבה יש את הדרישות הבסיסיות הבאות:
(1) מערכת הוואקום לציפוי צריכה להיות בעלת קצב שאיבה גדול מספיק, אשר לא רק אמור לשאוב במהירות את הגזים המשתחררים מהמצע, החומרים המתאדים והרכיבים בתא הוואקום במהלך תהליך הציפוי, אלא גם להיות מסוגלת לשאוב במהירות את הגזים המשתחררים מתהליך ההתזה וציפוי היונים, כמו גם את דליפת הגז מתהליך ההתזה וציפוי היונים ומהמערכת.
ניתן גם לחלץ במהירות את דליפת הגז במהלך תהליך ההתזה וציפוי היונים. על מנת לשפר את הפרודוקטיביות של מכונת הציפוי, עליה להיות מסוגלת לפעול במהירות.
(2) הוואקום האולטימטיבי של מערכת השאיבה של מכונת הציפוי צריך להיות שונה בהתאם לדרישות של סרטים שונים. טבלה 7-9 מציגה את טווח דרגת הוואקום הנדרשת על ידי תהליך הציפוי של סרטים שונים.
(3) במשאבת דיפוזיה שמן, כמערכת שאיבה של המשאבה העיקרית, נדרש קצב החזרת השמן של המשאבה להיות קטן ככל האפשר, מכיוון שאדי השמן החוזרים יזהמו את פני השטח של חומר העבודה ויגרמו לירידה באיכות הסרט. דרישות איכות הסרט גבוהות במיוחד בתהליך הציפוי, ולכן עדיף להשתמש במערכת שאיבה ללא שמן. בעת שימוש במערכת שאיבה של משאבת דיפוזיה שמן, יש להגדיר מלכודת ספיחה, מלכודת קור ורכיבים אחרים בכניסת המשאבה, ולשים לב למוליכות הרכיבים כדי להבטיח שמערכת הוואקום תשמור על מהירות שאיבה מרבית.
(4) קצב הדליפה של תא ציפוי הוואקום ומערכת השאיבה שלו צריך להיות קטן, כלומר, גם אם מדובר בדליפת גז עקבית, היא תשפיע על איכות הסרט. לכן, על מנת להבטיח את ביצועי האיטום של המערכת, יש להגביל את קצב הדליפה הכולל של המערכת לטווח המותר.
(5) תפעול, שימוש ותחזוקה של מערכת הוואקום צריכים להיות נוחים, יציבים ואמינים.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 14 בדצמבר 2023