מכונות התזה, הידועות גם כמערכות התזה, הן ציוד מיוחד ביותר המשמש בתהליך התזה של שכבה דקה. הן פועלות על פי עקרון ההתזה, הכולל הפצצת חומר מטרה ביונים או אטומים בעלי אנרגיה גבוהה. התהליך פולט זרם של אטומים מחומר המטרה, אשר לאחר מכן מופקד על גבי מצע ליצירת שכבה דקה.
השימוש במכונות להפקעת התזה התרחב מאוד הודות ליכולתן לייצר סרטים בעלי טוהר גבוה, אחידות מעולה ועובי מבוקר. לסרטים כאלה יש יישומים נרחבים במיקרואלקטרוניקה, אופטיקה, תאים סולאריים, מדיות אחסון מגנטיות ותחומים אחרים.
התפתחויות אחרונות בתחום מכונות ההדבקה בספריי הביאו לשיפור הפונקציונליות ולשיפור המאפיינים. התקדמות בולטת היא שילוב טכנולוגיית ההדבקה במערכת מגנטרון, המאפשרת קצבי הדבקה גבוהים יותר ואיכות שכבה משופרת. חדשנות זו מאפשרת הדבקה של מגוון חומרים, כולל מתכות, תחמוצות מתכת ומוליכים למחצה.
בנוסף, מכונות התזה מצוידות כיום במערכות בקרה מתקדמות המבטיחות שליטה מדויקת בפרמטרי התזה כגון לחץ גז, צפיפות הספק, הרכב המטרה וטמפרטורת המצע. התקדמויות אלו משפרות את ביצועי הסרט ומאפשרות ייצור סרטים בעלי תכונות המותאמות ליישומים ספציפיים.
בנוסף, הפיתוח המתמשך בתחום הננוטכנולוגיה מרוויח רבות גם ממכונות התזה. חוקרים משתמשים במכונות אלו כדי ליצור ננו-מבנים וציפויים ננו-מובנים בדיוק גבוה ביותר. מכונות התזה מסוגלות להניח שכבות דקות על צורות מורכבות ושטחים גדולים, מה שהופך אותן לאידיאליות למגוון יישומים בקנה מידה ננומטרי.
לאחרונה דווח כי צוות מדענים ממוסד מחקר ידוע פיתח בהצלחה מכונת שקיעת התזה חדשה שיכולה להניח שכבות דקות בדיוק חסר תקדים. מכונה חדשנית זו משלבת אלגוריתמי בקרה חדישים ועיצוב מגנטרון חדשני כדי להשיג אחידות שכבה ובקרת עובי מעולות. צוות המחקר צופה שהמכונה שלו תחולל מהפכה בתהליך הייצור של מכשירים אלקטרוניים ומערכות אחסון אנרגיה מהדור הבא.
פיתוח חומרים חדשים בעלי פונקציונליות משופרת הוא מאמץ בלתי פוסק של הקהילה המדעית. מכונות התזה הפכו לכלי הכרחי בחקירה זו, ומקלות על גילוי וסינתזה של חומרים חדשים בעלי תכונות ייחודיות. חוקרים משתמשים במכונות אלו כדי לחקור מנגנוני גידול שכבות, לחקור חומרים בעלי תכונות מותאמות אישית ולגלות חומרים חדשים שיכולים לעצב את עתיד הטכנולוגיה.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 30 באוקטובר 2023