מספר חומרי מטרה נפוצים

1. מטרת כרום כרום כחומר לסרט התזה לא רק קל לשילוב עם המצע עם הידבקות גבוהה, אלא גם כרום ותחמוצת יכולים ליצור סרט CrO3, תכונותיו המכניות, עמידותו לחומצות ויציבותו התרמית טובות יותר. בנוסף, כרום במצב חמצון לא שלם יכול גם ליצור סרט ספיגה חלש. דווח כי כרום עם טוהר של יותר מ-98% יכול להיווצר למטרות מלבניות או למטרות כרום גליליות. בנוסף, הטכנולוגיה של שימוש בשיטת סינטר לייצור מטרות מלבניות כרום גם היא בשלה.
2. הכנת מטרת ITO לחומר מטרה מסוג ITO בעבר, נעשה בדרך כלל שימוש בחומרי סגסוגת In-Sn לייצור מטרות, ולאחר מכן תהליך הציפוי עובר דרך חמצן, ויוצר סרט ITO. שיטה זו קשה לשלוט בגז התגובה ובעלת יכולת שחזור ירודה. לכן, בשנים האחרונות היא הוחלפה על ידי מטרת סינטור ITO. תהליך טיפוסי של חומר מטרה ITO הוא על פי יחס האיכות, ערבוב מלא באמצעות שיטת טחינת כדורים, הוספת חומר מרוכב אורגני מיוחד לערבב לצורה הרצויה, דחיסה בלחץ, ולאחר מכן חימום באוויר של 100 ℃/שעה ל-1600 ℃ לאחר החזקה של שעה, ולאחר מכן קירור בקצב של 100 ℃/שעה לטמפרטורת החדר. קירור בקצב של 100 ℃/שעה לטמפרטורת החדר מתבצע. בעת ייצור מטרות, יש ללטש את מישור המטרה, כדי למנוע נקודות חמות בתהליך ההתזה.
3. מטרת זהב וסגסוגת זהב, בעלת ברק מקסים, עמידות טובה בפני קורוזיה, היא חומר ציפוי דקורטיבי אידיאלי למשטחים דקורטיביים. בעבר, שיטת הציפוי הרטוב הייתה בעלת הידבקות נמוכה, חוזק נמוך, עמידות נמוכה בפני שחיקה, ובעיות זיהום נוזלי, ולכן היא הוחלפה בהכרח בציפוי יבש. סוגי המטרה כוללים מטרה מישורית, מטרה מרוכבת מקומית, מטרה צינורית, מטרה צינורית מרוכבת מקומית וכן הלאה. שיטת ההכנה שלה היא בעיקר באמצעות התכה בוואקום, כבישה, גלגול קר, חישול, גלגול עדין, גזירה, ניקוי פני השטח, גלגול קר של אריזת מרוכבים וסדרה של תהליכים כמו הכנת תהליכים. טכנולוגיה זו עברה את הבדיקות הסיניות והשיגה תוצאות טובות.
4. מטרה מחומר מגנטי מטרה מחומר מגנטי משמשת בעיקר לציפוי ראשי מגנטיים בעלי שכבה דקה, דיסקיות שכבה דקה והתקני שכבה דקה מגנטיים אחרים. עקב השימוש בשיטת התזה מגנטרונית DC עבור חומרים מגנטיים, התזה מגנטרונית קשה יותר. לכן, משתמשים במטרות CT בעלות סוג "מטרת פער" להכנת מטרות כאלה. העיקרון הוא לחתוך פערים רבים על פני חומר המטרה כך שניתן יהיה ליצור מערכת מגנטית על פני המטרה של חומר מגנטי תוך דליפה, כך שמשטח המטרה יוכל ליצור שדה מגנטי אורתוגונלי ולהשיג את המטרה של סרט התזה מגנטרונית. נאמר שעובי חומר המטרה יכול להגיע ל-20 מ"מ.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה