רכיבי תהליך ומנגנוני פעולה המשפיעים על איכות התקני שכבה דקה (חלק 2)

3. השפעת טמפרטורת המצע

טמפרטורת המצע היא אחד התנאים החשובים לצמיחת הממברנה. היא מספקת תוספת אנרגיה נוספת לאטומי או למולקולות הממברנה, ומשפיעה בעיקר על מבנה הממברנה, מקדם ההצטברות, מקדם ההתפשטות וצפיפות ההצטברות. ההשתקפות המקרוסקופית במקדם השבירה של הסרט, פיזור, מאמץ, הידבקות, קשיות וחוסר מסיסות יהיו שונים מאוד עקב טמפרטורת המצע השונה.

(1) מצע קר: משמש בדרך כלל לאידוי של שכבת מתכת.

(2) יתרונות של טמפרטורה גבוהה:

① מולקולות הגז הנותרות שנספגו על פני המצע מוסרות כדי להגביר את כוח הקישור בין המצע למולקולות שהופקדו;

(2) לקדם את הטרנספורמציה של ספיחה פיזית לכימיספורמציה של שכבת הסרט, לשפר את האינטראקציה בין המולקולות, להפוך את הסרט לאט, להגביר את ההידבקות ולשפר את החוזק המכני;

③ להפחית את ההפרש בין טמפרטורת ההתגבשות המולקולרית של אדים לטמפרטורת המצע, לשפר את צפיפות שכבת הסרט, להגדיל את קשיות שכבת הסרט כדי לבטל את הלחץ הפנימי.

(3) החיסרון של טמפרטורה גבוהה מדי: מבנה שכבת הסרט משתנה או שחומר הסרט מתפרק.

4. השפעות של הפצצת יונים

הפצצה לאחר ציפוי: שיפור צפיפות הצבירה של הסרט, שיפור התגובה הכימית, הגדלת מקדם השבירה של סרט התחמוצת, חוזק מכני ועמידות והידבקות. סף נזק האור עולה.
5. השפעת חומר המצע

(1) מקדם התפשטות שונה של חומר המצע יוביל ללחץ תרמי שונה של הסרט;

(2) זיקה כימית שונה תשפיע על ההידבקות והיציבות של הסרט;

(3) החספוס והפגמים של המצע הם המקורות העיקריים לפיזור שכבה דקה.
6. השפעת ניקוי המצע

שאריות של לכלוך וחומר ניקוי על פני המצע יובילו ל: (1) הידבקות לקויה של הסרט למצע; ② ספיגת הפיזור גוברת, יכולת האנטי-לייזר ירודה; ③ ביצועי העברת אור ירודים.

ההרכב הכימי (סוגי טוהר וזיהומים), המצב הפיזי (אבקה או בלוק) והטיפול המקדים (סינטור בוואקום או חישול) של חומר הסרט ישפיעו על מבנה הסרט וביצועיו.

8. השפעת שיטת האידוי

האנרגיה הקינטית הראשונית המסופקת על ידי שיטות אידוי שונות לאידוי מולקולות ואטומים שונה מאוד, וכתוצאה מכך נוצר הבדל גדול במבנה הסרט, המתבטא כהבדל במקדם השבירה, הפיזור וההידבקות.

9. השפעת זווית פגיעה באדים

זווית פגיעה באדים מתייחסת לזווית שבין כיוון הקרינה המולקולרית של האדים לבין כיוון פני השטח של המצע המצופה, המשפיעה על מאפייני הצמיחה וצפיפות הצבירה של הסרט, ויש לה השפעה רבה על מקדם השבירה ומאפייני הפיזור של הסרט. על מנת להשיג סרטים באיכות גבוהה, יש צורך לשלוט בזווית הפליטה האנושית של מולקולות האדים של חומר הסרט, אשר בדרך כלל צריכה להיות מוגבלת ל-30°.

10. השפעות טיפול האפייה

טיפול החום של הסרט באטמוספירה תורם לשחרור מתחים ולנדידה תרמית של מולקולות גז סביבתיות ומולקולות הסרט, ויכול ליצור רקומבינציה של מבנה הסרט, ולכן יש לו השפעה רבה על מקדם השבירה, המתח והקשיות של הסרט.