מבוא לשקיעת אדים בוואקום, התזה וציפוי יונים

ציפוי בוואקום כולל בעיקר שקיעת אדים בוואקום, ציפוי התזה וציפוי יונים, כולם משמשים להפקדת שכבות מתכת ולא מתכתיות שונות על פני השטח של חלקי פלסטיק באמצעות זיקוק או התזה בתנאי ואקום, מה שיכול להשיג ציפוי משטח דק מאוד עם היתרון הבולט של הידבקות מהירה, אך גם המחיר גבוה יותר, וסוגי המתכות שניתן להפעיל הם פחותים, והם משמשים בדרך כלל לציפוי פונקציונלי של מוצרים באיכות גבוהה יותר.
שקיעת אדים בוואקום היא שיטה לחימום מתכת תחת ואקום גבוה, מה שגורם לה להתכה, להתאדות וליצור שכבת מתכת דקה על פני הדגימה לאחר קירור, בעובי של 0.8-1.2 מיקרון. היא ממלאת את החלקים הקעורים והקמורים הקטנים על פני המוצר שנוצר כדי לקבל משטח דמוי מראה. כאשר שקיעת אדים בוואקום מבוצעת, בין אם כדי להשיג אפקט מראה מחזיר אור או כדי לאדות פלדה בעלת הידבקות נמוכה בוואקום, יש לצפות את המשטח התחתון.

התזה מתייחסת בדרך כלל להתזה מגנטרונית, שהיא שיטת התזה במהירות גבוהה ובטמפרטורה נמוכה. התהליך דורש ואקום של כ-1×10⁻³Torr, כלומר 1.3×10⁻³Pa במצב ואקום מלא בגז אינרטי ארגון (Ar), ובין המצע הפלסטי (אנודה) למטרה המתכתית (קתודה) בתוספת זרם ישר במתח גבוה, עקב עירור אלקטרונים של גז אינרטי שנוצר על ידי פריקת זוהר, המייצרת פלזמה, הפלזמה תפוצץ את האטומים של מטרת המתכת ותשקיע אותם על המצע הפלסטי. רוב ציפויי המתכת הכלליים משתמשים בהתזה DC, בעוד שחומרים קרמיים לא מוליכים משתמשים בהתזה RF AC.

ציפוי יונים הוא שיטה שבה משתמשים בפריקת גז כדי ליינן חלקית את הגז או את החומר המתאדה בתנאי ואקום, והחומר המתאדה או המגיבים שלו מושקעים על המצע על ידי הפצצה של יוני גז או יונים של החומר המתאדה. אלה כוללים ציפוי יונים באמצעות התזה מגנטרונית, ציפוי יונים ריאקטיביים, ציפוי יונים באמצעות פריקת קתודה חלולה (שיטת שקיעת אדים של קתודה חלולה), וציפוי יונים רב-קשתיים (ציפוי יונים באמצעות קשת קתודה).

ציפוי רציף אנכי דו-צדדי של מגנטרון בהתזה בקו
תחולה רחבה, ניתן להשתמש בה עבור מוצרים אלקטרוניים כגון שכבת מיגון EMI של מעטפת מחשב נייד, מוצרים שטוחים ואפילו ניתן לייצר את כל מוצרי כוסות המנורה בגובה מסוים. קיבולת טעינה גדולה, הידוק קומפקטי והידוק מדורגים של כוסות אור חרוטיות לציפוי דו-צדדי, שיכולות להיות בעלות קיבולת טעינה גדולה יותר. איכות יציבה, עקביות טובה של שכבת הסרט מאצווה לאצווה. רמה גבוהה של אוטומציה ועלות עבודה נמוכה.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה