Sprautunarvélar, einnig þekktar sem spúttunarkerfi, eru mjög sérhæfðir búnaður sem notaður er í þunnfilmuútfellingarferlinu. Þær virka samkvæmt spúttunarreglunni, sem felur í sér að sprengja markefnið með orkuríkum jónum eða atómum. Ferlið kastar straumi atóma úr markefninu, sem síðan er sett á undirlag til að mynda þunna filmu.
Notkun sputter-útfellingarvéla hefur aukist mjög vegna getu þeirra til að framleiða filmur með mikilli hreinleika, framúrskarandi einsleitni og stýrðri þykkt. Slíkar filmur hafa víðtæka notkun í örrafeindatækni, ljósfræði, sólarsellum, segulgeymslumiðlum og öðrum sviðum.
Nýlegar framfarir á sviði sputter-útfellingarvéla hafa leitt til aukinnar virkni og bættra eiginleika. Athyglisverð framþróun er innleiðing á magnetron sputter-tækni, sem gerir kleift að setja út fleiri efni, þar á meðal málma, málmoxíð og hálfleiðara.
Að auki eru sputter-útfellingarvélar nú búnar háþróuðum stjórnkerfum sem tryggja nákvæma stjórnun á útfellingarbreytum eins og gasþrýstingi, aflþéttleika, samsetningu marksins og hitastigi undirlagsins. Þessar framfarir bæta afköst filmunnar og gera kleift að framleiða filmur með eiginleikum sem eru sniðnar að sérstökum notkunarsviðum.
Auk þess nýtur stöðug þróun á sviði nanótækni einnig mikils ávinnings af sputter-útfellingarvélum. Rannsakendur nota þessar vélar til að búa til nanóbyggingar og nanóbyggingarhúðanir með afar mikilli nákvæmni. Sputter-útfellingarvélar geta sett þunnar filmur á flókin form og stór svæði, sem gerir þær tilvaldar fyrir fjölbreytt notkun á nanóskala.
Nýlega var greint frá því að teymi vísindamanna frá þekktri rannsóknarstofnun hafi þróað nýja sputter-útfellingarvél sem getur sett á þunnar filmur með óþekktri nákvæmni. Þessi háþróaða vél samþættir nýjustu stjórnunarreiknirit og nýstárlega segulmagnaða hönnun til að ná fram framúrskarandi einsleitni filmunnar og þykktarstýringu. Rannsóknarteymið sér fyrir sér að vélin muni gjörbylta framleiðsluferli næstu kynslóðar rafeindatækja og orkugeymslukerfa.
Þróun nýrra efna með bættri virkni er óþreytandi viðleitni vísindasamfélagsins. Sprautuútfellingarvélar eru orðnar ómissandi tæki í þessari rannsókn og auðvelda uppgötvun og myndun nýrra efna með einstaka eiginleika. Rannsakendur nota þessar vélar til að rannsaka vaxtarferla filmu, efni með sérsniðnum eiginleikum og uppgötva ný efni sem gætu mótað framtíð tækni.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 30. október 2023