1. Krómmark Króm sem efni fyrir spúttunarfilmu er ekki aðeins auðvelt að sameina við undirlagið með mikilli viðloðun, heldur einnig króm og oxíð til að mynda CrO3 filmu, vélrænir eiginleikar þess, sýruþol og hitastöðugleiki eru betri. Að auki getur króm í ófullkomnu oxunarástandi einnig myndað veika frásogsfilmu. Greint hefur verið frá því að króm með hreinleika yfir 98% sé hægt að búa til rétthyrndar eða sívalningslaga krómmarkmið. Að auki er tæknin við að nota sintunaraðferð til að búa til rétthyrndar krómmarkmið einnig þroskuð.
2. Undirbúningur ITO-markmiðs Áður fyrr var ITO-filma notuð til að búa til markið. Í húðunarferlinu var ITO-filma oftast notuð In-Sn málmblanda. Þessi aðferð hefur lélega stjórnun á hvarfgasi og endurtekningarhæfni. Þess vegna hefur ITO-sintrað markið verið skipt út fyrir ITO-sintra á undanförnum árum. Algengt ferli fyrir ITO-markmið er að blanda því fullkomlega saman með kúlufræsingu, bæta sérstöku lífrænu dufti við og blanda því í þá lögun sem þarf. Þrýstið efnið síðan í loftið í 1 klst. við 100 ℃/klst. og hitið niður í 1600 ℃. Kælið niður í stofuhita um 100 ℃/klst. og búið til við stofuhita um 100 ℃/klst. Þegar markið er búið til þarf að pússa markflötinn til að forðast heita bletti í spúttunarferlinu.
3. Gull og gullblönduð skotmark, með glæsilegu gljáa, góðri tæringarþol, er kjörið efni fyrir skreytingar á yfirborði. Blauthúðunaraðferðin sem áður var notuð er lítil, styrkurinn lágur, núningþolin og mengun frá úrgangsvökva er því óhjákvæmilega skipt út fyrir þurrhúðun. Skotmarkið er með sléttu skotmarki, staðbundnu samsettu skotmarki, rörlaga skotmarki, staðbundnu samsettu rörlaga skotmarki og svo framvegis. Undirbúningsaðferðin felst aðallega í lofttæmisbræðslu, súrsun, köldvalsun, glæðingu, fínvalsun, klippingu, yfirborðshreinsun, köldvalsun og röð af undirbúningsferlum eins og samsettum umbúðum. Þessi tækni hefur staðist mat í Kína og notið góðs af notkun.
4. Segulmagnaðir efnismarkmið Segulmagnaðir efnismarkmið eru aðallega notuð til að húða þunnfilmu segulhausa, þunnfilmudiska og önnur segulmagnaðir þunnfilmutæki. Vegna notkunar á jafnstraums segulspúttunaraðferð fyrir segulmagnað efni er segulspúttunar erfiðara. Þess vegna eru CT-markmið með svokölluðum „bilsmarkmiðsgerð“ notuð til að búa til slík markmið. Meginreglan er að skera út mörg bil á yfirborði markefnisins svo að hægt sé að mynda segulkerfi á yfirborði segulmagnaðs efnismarkmiðsins sem lekar segulsviðið, þannig að yfirborð markefnisins geti myndað hornrétt segulsvið og náð tilgangi segulspúttunarfilmunnar. Talið er að þykkt þessa markefnis geti náð 20 mm.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 24. janúar 2024