Ferlisþættir og verkunarháttur sem hafa áhrif á gæði þunnfilmubúnaðar (2. hluti)

3. Áhrif hitastigs undirlagsins

Hitastig undirlagsins er eitt mikilvægasta skilyrðið fyrir vöxt himnunnar. Það veitir frumeindum eða sameindum himnunnar viðbótarorku og hefur aðallega áhrif á uppbyggingu himnunnar, kekkjunarstuðul, útþenslustuðul og kekkjunarþéttleika. Endurspeglun í himnunni, dreifing, spenna, viðloðun, hörka og óleysni verða mjög mismunandi vegna mismunandi hitastigs undirlagsins.

(1) Kalt undirlag: almennt notað til uppgufunar á málmfilmu.

(2) Kostir hás hitastigs:

① Leifar af gassameindum sem hafa safnast fyrir á yfirborði undirlagsins eru fjarlægðar til að auka bindingarkraftinn milli undirlagsins og sameindanna sem settar eru niður;

(2) Stuðla að umbreytingu líkamlegrar aðsogs í efnafræðilegt aðsog filmulagsins, auka samspil sameinda, gera filmuna þétta, auka viðloðun og bæta vélrænan styrk;

③ Minnkaðu mismuninn á milli gufusameindaendurkristöllunarhitastigs og undirlagshitastigs, bættu þéttleika filmulagsins og aukið hörku filmulagsins til að útrýma innri spennu.

(3) Ókostur við of hátt hitastig: uppbygging filmulagsins breytist eða filmuefnið brotnar niður.

4. Áhrif jónaárása

Sprengjuárás eftir húðun: bætir samloðunarþéttleika filmunnar, eykur efnahvörf, eykur ljósbrotsstuðul oxíðfilmunnar, vélrænan styrk og viðnám og viðloðun. Ljósskemmdaþröskuldurinn eykst.
5. Áhrif undirlagsefnis

(1) Mismunandi þenslustuðull undirlagsefnisins mun leiða til mismunandi hitaspennu filmunnar;

(2) Mismunandi efnafræðileg sækni mun hafa áhrif á viðloðun og festu filmunnar;

(3) Grófleiki og gallar undirlagsins eru helstu orsakir dreifingar þunnfilmu.
6. Áhrif hreinsunar á undirlagi

Leifar af óhreinindum og þvottaefni á yfirborði undirlagsins munu leiða til: (1) lélegrar viðloðunar filmunnar við undirlagið; ② Dreifingargleypni eykst og leysigeislunin er léleg; ③ Lélegrar ljósleiðni.

Efnasamsetning (hreinleiki og óhreinindi), eðlisástand (duft eða blokk) og forvinnsla (lofttæmissintrun eða smíði) filmuefnisins mun hafa áhrif á uppbyggingu og frammistöðu filmunnar.

8. Áhrif uppgufunaraðferðar

Upphafleg hreyfiorka sem mismunandi uppgufunaraðferðir veita til að gufa upp sameindir og atóm er mjög mismunandi, sem leiðir til mikils munar á uppbyggingu filmunnar, sem birtist sem mismunur á brotstuðli, dreifingu og viðloðun.

9. Áhrif gufuinnfallshorns

Gufuinnfallshornið vísar til hornsins milli geislunarstefnu gufusameindanna og yfirborðsnormáls húðaðs undirlags, sem hefur áhrif á vaxtareiginleika og samloðunarþéttleika filmunnar og hefur mikil áhrif á ljósbrotsstuðul og dreifingareiginleika filmunnar. Til að fá hágæða filmur er nauðsynlegt að stjórna losunarhorni gufusameindanna úr filmuefninu, sem ætti almennt að vera takmarkað við 30°.

10. Áhrif bökunarmeðferðar

Hitameðferð filmunnar í andrúmsloftinu stuðlar að losun streitu og varmaflutningi umhverfisgassameindanna og filmusameindanna og getur breytt uppbyggingu filmunnar og hefur því mikil áhrif á ljósbrotsvísitölu, streitu og hörku filmunnar.