Lofttæmishúðun felur aðallega í sér lofttæmisgufuútfellingu, spúttunarhúðun og jónahúðun, sem öll eru notuð til að setja ýmsar málm- og málmleysingjafilmur á yfirborð plasthluta með eimingu eða spúttingu undir lofttæmisskilyrðum, sem getur fengið mjög þunna yfirborðshúðun með þeim framúrskarandi kostum að vera fljótur að festast, en verðið er einnig hærra og hægt er að nota færri málma og eru almennt notaðar til að húða hágæða vörur.
Lofttæmisgufuútfelling er aðferð til að hita málm undir miklu lofttæmi, sem veldur því að hann bráðnar, gufar upp og myndar þunna málmfilmu á yfirborði sýnisins eftir kælingu, með þykkt upp á 0,8-1,2 µm. Hún fyllir í litlu íhvolfu og kúptu hlutana á yfirborði myndaðrar vöru til að fá spegilmyndandi yfirborð. Þegar lofttæmisgufuútfelling er framkvæmd, annaðhvort til að fá endurskinsspegiláhrif eða til að lofttæmisgufa stál með litla viðloðun, verður að húða botninn.
Með spútrun er venjulega átt við segulspútrun, sem er hraðvirk lághita spútrun. Ferlið krefst lofttæmis upp á um 1×10⁻³Torr, þ.e. 1,3×10⁻³Pa í lofttæmisástandi fyllt með óvirku gasi argoni (Ar), og á milli plast undirlagsins (anóðu) og málmmarksins (katóðu) ásamt háspennu jafnstraumi. Vegna rafeindaörvunar á óvirku gasi sem myndast við glóútskrift, myndast plasma, mun plasmað sprengja út atóm málmmarksins og setja þau á plast undirlagið. Flestar almennar málmhúðanir nota jafnstraumsspútrun, en óleiðandi keramik efni nota RF AC spútrun.
Jónhúðun er aðferð þar sem gasútfelling er notuð til að jóna að hluta til gasið eða uppgufað efni við lofttæmi, og uppgufaða efnið eða hvarfefni þess eru sett á undirlagið með sprengjuárás gasjóna eða jóna af uppgufaða efninu. Þetta felur í sér segulspúttunarjónhúðun, hvarfgjarna jónhúðun, jónhúðun með útfellingu holraskauts (gufuútfellingaraðferð holraskauts) og fjölbogajónhúðun (bogajónhúðun með katóðu).
Lóðrétt tvíhliða magnetron sputtering samfelld húðun í línu
Víðtæk notagildi, hægt að nota fyrir rafeindabúnað eins og fartölvuskeljar, rafsegult varnarlag, flatar vörur og jafnvel allar lampabikarvörur innan ákveðinnar hæðarforskriftar. Stór burðargeta, þétt klemma og stigskipt klemma á keilulaga ljósabikum fyrir tvíhliða húðun, sem getur haft meiri burðargetu. Stöðug gæði, góð samræmi filmulags frá framleiðslulotu til framleiðslulotu. Mikil sjálfvirkni og lágur launakostnaður.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 23. janúar 2025