Igwe mkpuchi Vacuum na sistemụ mgbapụta nwere ihe ndị a chọrọ:
(1) Usoro mkpuchi mkpuchi kwesịrị inwe oke mgbapụta buru ibu zuru oke, nke na-ekwesịghị ịgbapụ ngwa ngwa gas ndị a na-ewepụta site na mkpụrụ na ihe ndị a na-ekpochapụ na ihe ndị dị na oghere oghere n'oge usoro mkpuchi, ma nwee ike ịmepụta ngwa ngwa ngwa ngwa ngwa ngwa nke a na-ewepụta site na sputtering na ion mkpuchi usoro, yana nkwụsị nke gas na-emepụta ihe na usoro.
Enwere ike ịwepụta ntanye gas n'oge nsacha na usoro mkpuchi ion ngwa ngwa. Iji meziwanye nrụpụta nke igwe mkpuchi, ọ ga-enwe ike ịrụ ọrụ ngwa ngwa.
(2) Oghere kacha mma nke sistemu igwe mkpuchi mkpuchi kwesịrị ịdị iche dịka ihe achọrọ nke ihe nkiri dị iche iche. Tebụl 7-9 bụ ogo ogo agụụ chọrọ site na usoro mkpuchi nke ihe nkiri dị iche iche.
(3) N'ime mgbapụta mmanụ na-ekesa mmanụ dị ka isi ihe mgbapụta mgbapụta na-achọ ka mgbapụta mmanụ mgbapụta dị ntakịrị dị ka o kwere mee, n'ihi na ikuku mmanụ na-alaghachi ga-emerụ elu nke workpiece ma mee ka àgwà nke ihe nkiri ahụ daa. Na ihe nkiri mma chọrọ dị elu karịsịa na usoro mkpuchi, ọ kacha mma iji usoro mgbapụta mmanụ na-enweghị mmanụ. Mgbe ị na-eji usoro mgbapụta mgbapụta mmanụ na-ekesa mmanụ, ekwesịrị ịtọ ya na ọnyà adsorption ntinye mgbapụta, ọnyà oyi na ihe ndị ọzọ, ma kwesịrị ịṅa ntị na conductivity nke ihe ndị ahụ iji hụ na usoro ikuku na-ejigide ọsọ ọsọ kacha elu.
(4) Ọnụ ọgụgụ nkwụsị nke oghere mkpuchi oghere na usoro mgbapụta ya kwesịrị ịdị ntakịrị, ya bụ, ọ bụrụgodị na ọ bụ nkwụsị nke gas, ọ ga-emetụta àgwà nke ihe nkiri ahụ. Ya mere, iji hụ na arụ ọrụ akara nke usoro ahụ, ngụkọta nkwụsị nke usoro ahụ ga-ejedebe na oke ohere.
(5) Arụ ọrụ usoro oghere, ojiji na mmezi kwesịrị ịdị mma, kwụsie ike na arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya.
–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua
Oge nzipu: Dec-14-2023