Igwe nkwụnye ego, nke a makwaara dị ka sistemu sputtering, bụ akụrụngwa pụrụiche nke ukwuu ejiri na usoro ntinye ihe nkiri dị mkpa. Ọ na-arụ ọrụ na ụkpụrụ nke sputtering, nke na-agụnye iji ion ma ọ bụ atom ndị nwere ume dị elu na-atụ bọmbụ. Usoro a na-ewepụ iyi nke atọm site na ihe a na-achọsi ike, nke a na-atụba ya na mkpụrụ iji mepụta ihe nkiri dị mkpa.
Ojiji nke igwe nkwụnye ego na-agbasawanye nke ukwuu n'ihi ike ha na-emepụta ihe nkiri nke ịdị ọcha dị elu, ọdịdị mara mma na oke nchịkwa. Ihe nkiri ndị dị otú ahụ nwere ngwa obosara na microelectronics, optics, sel anyanwụ, mgbasa ozi nchekwa magnet na mpaghara ndị ọzọ.
Ihe na-eme n'oge na-adịbeghị anya n'ọhịa nke igwe nkwụnye ego sputter arụpụtala ọrụ na-arụ ọrụ na njirimara dị mma. Ọganihu dị ịrịba ama bụ ntinye nke teknụzụ magnetron sputtering, nke na-enye ohere maka ọnụego nkwụnye ego dị elu yana mma ihe nkiri. Ihe ọhụrụ a na-enye ohere itinye ihe dị iche iche, gụnyere ọla, metal oxides na semiconductor.
Na mgbakwunye, igwe na-edobe sputter ugbu a nwere sistemụ njikwa dị elu nke na-ahụ maka njikwa nke ọma nke ntinye ntinye dị ka nrụgide gas, njupụta ike, ihe mejupụtara ebumnuche na ọnọdụ okpomọkụ. Ọganihu ndị a na-eme ka arụmọrụ ihe nkiri dịkwuo mma ma mee ka mmepụta ihe nkiri na-emepụta ihe ndị a na-emepụta na ngwa ngwa.
Na mgbakwunye, mmepe na-aga n'ihu na ngalaba nke nanotechnology na-eritekwa uru dị ukwuu site na igwe nkwụnye ego sputter. Ndị na-eme nchọpụta na-eji igwe ndị a na-emepụta nanostructures na mkpuchi nanostructured na oke oke. Igwe nkwụnye ego Sputter nwere ike itinye ihe nkiri ndị dị mkpa n'ụdị dị mgbagwoju anya na mpaghara buru ibu, na-eme ka ha dị mma maka ngwa nanoscale dị iche iche.
N’oge na-adịbeghị anya, a kọrọ na otu ndị ọkà mmụta sayensị si n’otu ụlọ ọrụ nyocha a ma ama arụpụtala igwe ọhụrụ na-edobe ihe na-agbapụta sputter nke nwere ike itinye ihe nkiri ndị dị mkpa n’ụzọ ziri ezi nke a na-enwetụbeghị ụdị ya. Igwe a na-egbutu ọnụ na-ejikọta algọridim njikwa ọgbara ọhụrụ yana imepụta magnetron ọhụrụ iji nweta otu ihe nkiri dị elu na njikwa oke. Ndị otu nyocha ahụ na-eche na igwe ya ga-agbanwe usoro nrụpụta nke ngwaọrụ eletrọnịkị na-esote ọgbọ na sistemụ nchekwa ike.
Ịmepụta ihe ọhụrụ na arụmọrụ ka mma bụ ịchụso obodo sayensị n'akwụsịghị akwụsị. Igwe nkwụnye ego Sputter aghọwo ngwá ọrụ dị mkpa na nyocha a, na-eme ka nchọpụta na njikọ nke ihe ọhụrụ nwere ihe pụrụ iche. Ndị na-eme nchọpụta na-eji igwe ndị a na-amụ usoro mmepụta ihe nkiri, ihe ọmụmụ nwere ihe eji eme ya, na ịchọpụta ihe ọhụrụ nwere ike ịkpụzi ọdịnihu nke nkà na ụzụ.
–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua
Oge nzipu: Ọktoba 30-2023