Teknụzụ CVD dabere na mmeghachi omume kemịkal. A na-akpọkarị mmeghachi omume nke mmeghachi omume nke ndị na-emeghachi omume na steeti gas na otu n'ime ngwaahịa ndị ahụ dị na steeti siri ike dị ka mmeghachi omume CVD, ya mere usoro mmeghachi omume kemịkal ya aghaghị imezu ọnọdụ atọ ndị a.
(1) Na deposition okpomọkụ, ndị reactants ga-enwe a zuru ezu elu vepo mgbali. Ọ bụrụ na ndị reactants niile bụ gas na-ekpo ọkụ na ụlọ okpomọkụ, ngwaọrụ ntinye dị mfe, ma ọ bụrụ na ndị na-eme ihe na-agbanwe agbanwe na ụlọ okpomọkụ dị ntakịrị, ọ dị mkpa ka a kpoo ọkụ iji mee ka ọ gbanwee, na mgbe ụfọdụ, ọ dị mkpa iji gas na-ebu ibu na-ebute ya na ụlọ mmeghachi omume.
(2) N'ime ngwaahịa mmeghachi omume, ihe niile ga-adị na steeti gas ma e wezụga maka nkwụnye ego achọrọ, nke dị na steeti siri ike.
(3) Nrụgide uzuoku nke ihe nkiri a na-etinye kwesịrị ịdị ala nke ọma iji hụ na ihe nkiri ahụ etinyere na-ejikọta ya na mkpụrụ nke nwere ụfọdụ ọnọdụ okpomọkụ n'oge mmeghachi omume nkwụnye ego. Nrụgide uzuoku nke ihe ndị dị n'ime ala n'ebe a na-etinye ego ga-adị ala nke ukwuu.
The deposition reactants na-ekewa atọ ndị na-esonụ isi na-ekwu.
(1) Ala gas. Ihe ndị na-esi enweta gas na okpomọkụ dị n'ime ụlọ, dị ka methane, carbon dioxide, amonia, chlorine, wdg, bụ ndị na-enye aka na nsị kemịkalụ, na nke a na-edozi ngwa ngwa nke ọsọ ọsọ.
(2) Mmiri mmiri. Ụfọdụ ihe mmeghachi omume mmeghachi omume na ụlọ okpomọkụ ma ọ bụ dịtụ elu okpomọkụ, e nwere a elu vepo mgbali, dị ka TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, wdg, nwere ike iji na-ebu gas (dị ka H2, N2, Ar) esi n'elu nke mmiri mmiri ma ọ bụ mmiri mmiri n'ime afụ, na mgbe ahụ na-ebu ndị jupụtara vapors nke ihe n'ime studio.
(3) Ọnọdụ siri ike. Na enweghị isi gaseous ma ọ bụ mmiri mmiri kwesịrị ekwesị, ọ bụ naanị nri nri steeti siri ike ka enwere ike iji. Ụfọdụ ihe ma ọ bụ ogige ha na narị narị degrees nwere nnukwu ike ikuku, dị ka TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, wdg, nwere ike ibuba n'ime ụlọ ihe nkiri site na iji gas na-ebufe n'ime ihe nkiri ahụ.
The ọzọ nkịtị ọnọdụ ụdị site a ụfọdụ gas na isi iyi ihe gas-siri ike ma ọ bụ gas-mmiri mmiri mmeghachi omume, e guzobere kwesịrị ekwesị gaseous mmiri na studio nnyefe. Dịka ọmụmaatụ, HCl gas na metal Ga na-emeghachi omume iji mepụta akụrụngwa gas nke GaCl, nke a na-ebuga na studio n'ụdị GaCl.
–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua
Oge nzipu: Nov-16-2023