Mesin pelapis vakum pada sistem pemompaan mempunyai persyaratan dasar sebagai berikut:
(1) Sistem vakum pelapis harus memiliki laju pemompaan yang cukup besar, yang tidak hanya dapat dengan cepat memompa keluar gas yang dilepaskan dari substrat dan bahan yang menguap serta komponen dalam ruang vakum selama proses pelapisan, tetapi juga dapat dengan cepat memompa keluar gas yang dilepaskan dari proses sputtering dan pelapisan ion, serta kebocoran gas dari proses sputtering dan pelapisan ion dan sistem.
Kebocoran gas selama proses sputtering dan pelapisan ion juga dapat diekstraksi dengan cepat. Untuk meningkatkan produktivitas mesin pelapis, mesin tersebut harus dapat beroperasi dengan cepat.
(2) Vakum akhir dari sistem pemompaan mesin pelapis harus berbeda sesuai dengan persyaratan film yang berbeda. Tabel 7-9 adalah kisaran derajat vakum yang dibutuhkan oleh proses pelapisan film yang berbeda.
(3) Pada pompa difusi minyak sebagai sistem pemompaan pompa utama, laju pengembalian minyak pompa harus sekecil mungkin, karena uap minyak yang kembali akan mencemari permukaan benda kerja dan menyebabkan kualitas film menurun. Pada proses pelapisan, persyaratan kualitas film sangat tinggi, sebaiknya menggunakan sistem pemompaan bebas minyak. Saat menggunakan sistem pemompaan pompa difusi minyak, perangkap penyerapan saluran masuk pompa, perangkap dingin, dan komponen lainnya harus diatur, dan konduktivitas komponen harus diperhatikan untuk memastikan bahwa sistem vakum mempertahankan kecepatan pemompaan maksimum.
(4) Tingkat kebocoran ruang pelapis vakum dan sistem pemompaannya harus kecil, yaitu, meskipun kebocoran gas kecil, akan memengaruhi kualitas film. Oleh karena itu, untuk memastikan kinerja penyegelan sistem, tingkat kebocoran total sistem harus dibatasi pada kisaran yang diizinkan.
(5) Pengoperasian, penggunaan, dan pemeliharaan sistem vakum harus nyaman, stabil, dan kinerjanya dapat diandalkan.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 14-Des-2023