Պոմպային համակարգի վրա վակուումային ծածկույթով մեքենան ունի հետևյալ հիմնական պահանջները.
(1) Ծածկույթի վակուումային համակարգը պետք է ունենա բավականաչափ մեծ մղման արագություն, որը պետք է ոչ միայն արագորեն դուրս մղի հիմքից և գոլորշիացված նյութերից և վակուումային խցիկում գտնվող բաղադրիչներից ծածկույթի գործընթացի ընթացքում արտանետվող գազերը, այլև կարողանա արագորեն դուրս մղել փոշիացման և իոնային ծածկույթի գործընթացից արտանետվող գազերը, ինչպես նաև փոշիացման և իոնային ծածկույթի գործընթացից և համակարգից գազի արտահոսքը։
Ցողման և իոնային ծածկույթի գործընթացի ընթացքում գազի արտահոսքը նույնպես կարող է արագ հեռացվել։ Ծածկույթի մեքենայի արտադրողականությունը բարձրացնելու համար այն պետք է կարողանա արագ աշխատել։
(2) Ծածկույթի մեքենայի պոմպային համակարգի վերջնական վակուումը պետք է տարբեր լինի՝ կախված տարբեր թաղանթների պահանջներից: 7-9 աղյուսակում ներկայացված է տարբեր թաղանթների ծածկույթի գործընթացի համար պահանջվող վակուումի աստիճանի միջակայքը:
(3) Որպես հիմնական պոմպի պոմպային համակարգ՝ յուղի դիֆուզիոն պոմպը պահանջում է, որ պոմպի յուղի վերադարձի արագությունը լինի հնարավորինս փոքր, քանի որ վերադարձվող յուղի գոլորշին կաղտոտի աշխատանքային մասի մակերեսը և կհանգեցնի թաղանթի որակի անկմանը: Թաղանթի որակի պահանջները հատկապես բարձր են ծածկույթի գործընթացում, ուստի լավագույնն է օգտագործել յուղ չպարունակող պոմպային համակարգ: Յուղային դիֆուզիոն պոմպի պոմպային համակարգն օգտագործելիս պոմպի մուտքի մոտ պետք է տեղադրվեն կլանման թակարդ, սառը թակարդ և այլ բաղադրիչներ, և պետք է ուշադրություն դարձնել բաղադրիչների հաղորդունակությանը, որպեսզի վակուումային համակարգը պահպանի պոմպի առավելագույն արագությունը:
(4) Վակուումային ծածկույթի խցիկի և դրա պոմպային համակարգի արտահոսքի արագությունը պետք է փոքր լինի, այսինքն՝ նույնիսկ եթե գազի հետքային արտահոսք լինի, այն կազդի թաղանթի որակի վրա։ Հետևաբար, համակարգի կնքման արդյունավետությունն ապահովելու համար համակարգի ընդհանուր արտահոսքի արագությունը պետք է սահմանափակվի թույլատրելի միջակայքով։
(5) Վակուումային համակարգի շահագործումը, օգտագործումը և սպասարկումը պետք է լինեն հարմար, կայուն և հուսալի։
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա
Հրապարակման ժամանակը. Դեկտեմբերի 14-2023