Բարի գալուստ Գուանդուն Չժենհուա Թեքնոլոջի Քո., ՍՊԸ։
մեկ_բաններ

Գործընթացի տարրեր և գործողության մեխանիզմներ, որոնք ազդում են բարակ թաղանթային սարքերի որակի վրա (Մաս 2)

Հոդվածի աղբյուրը՝ Zhenhua վակուում
Կարդալ՝ 10
Հրապարակված՝ 24-03-29

3. Հիմքի ջերմաստիճանի ազդեցությունը

Հիմքի ջերմաստիճանը թաղանթի աճի կարևոր պայմաններից մեկն է։ Այն լրացուցիչ էներգիա է մատակարարում թաղանթի ատոմներին կամ մոլեկուլներին և հիմնականում ազդում է թաղանթի կառուցվածքի, ագլյուտինացիայի գործակցի, ընդարձակման գործակցի և ագրեգացիայի խտության վրա։ Թաղանթում մակրոսկոպիկ անդրադարձումը, ցրումը, լարվածությունը, կպչունությունը, կարծրությունը և անլուծելիությունը մեծապես կտարբերվեն հիմքի տարբեր ջերմաստիճանների պատճառով։

(1) Սառը հիմք. սովորաբար օգտագործվում է մետաղական թաղանթի գոլորշիացման համար։

(2) Բարձր ջերմաստիճանի առավելությունները՝

① Հիմքի մակերեսին ադսորբված մնացորդային գազի մոլեկուլները հեռացվում են՝ հիմքի և նստեցված մոլեկուլների միջև կապող ուժը մեծացնելու համար։

(2) Նպաստել թաղանթի շերտի ֆիզիկական ադսորբցիայի քիմիական ադսորբցիայի վերափոխմանը, ուժեղացնել մոլեկուլների միջև փոխազդեցությունը, դարձնել թաղանթը ամուր, մեծացնել կպչունությունը և բարելավել մեխանիկական ամրությունը։

③ Նվազեցնել գոլորշու մոլեկուլային վերաբյուրեղացման ջերմաստիճանի և հիմքի ջերմաստիճանի միջև եղած տարբերությունը, բարելավել թաղանթի շերտի խտությունը, մեծացնել թաղանթի շերտի կարծրությունը՝ ներքին լարվածությունը վերացնելու համար։

(3) Չափազանց բարձր ջերմաստիճանի թերությունը. թաղանթի շերտի կառուցվածքը փոխվում է կամ թաղանթի նյութը քայքայվում է։

大图

4. Իոնային ռմբակոծության հետևանքները

Ռմբակոծություն ծածկույթից հետո. բարելավում է թաղանթի ագրեգացման խտությունը, ուժեղացնում քիմիական ռեակցիան, մեծացնում օքսիդային թաղանթի բեկման ցուցիչը, մեխանիկական ամրությունը և դիմադրությունը, ինչպես նաև կպչունությունը: Լույսի վնասման շեմը մեծանում է:
5. Հիմքի նյութի ազդեցությունը

(1) Հիմքի նյութի տարբեր ընդարձակման գործակիցները կհանգեցնեն թաղանթի տարբեր ջերմային լարվածության։

(2) Քիմիական տարբեր կապակցությունները կազդեն թաղանթի կպչունության և ամրության վրա։

(3) Հիմքի կոպտությունը և արատները բարակ թաղանթային ցրման հիմնական աղբյուրներն են։
6. Հիմքի մաքրման ազդեցությունը

Հիմքի մակերեսին կեղտի և լվացող միջոցի մնացորդները կհանգեցնեն՝ (1) թաղանթի վատ կպչունության հիմքին։ ② Ցրման կլանումը մեծանում է, լազերի դեմ պայքարի ունակությունը վատանում է։ ③ Լույսի վատ թափանցելիության։

Թաղանթի կառուցվածքի և կատարողականի վրա կազդեն թաղանթի նյութի քիմիական կազմը (մաքրությունը և խառնուրդների տեսակները), ֆիզիկական վիճակը (փոշի կամ բլոկ) և նախնական մշակումը (վակուումային սինտերացում կամ կռում):

8. Գոլորշիացման մեթոդի ազդեցությունը

Մոլեկուլների և ատոմների գոլորշիացման համար տարբեր գոլորշիացման մեթոդներով ապահովվող սկզբնական կինետիկ էներգիան շատ տարբեր է, ինչը հանգեցնում է թաղանթի կառուցվածքի մեծ տարբերության, որը դրսևորվում է որպես բեկման ցուցիչի, ցրման և ադհեզիայի տարբերություն։

9. Գոլորշիների անկման անկյան ազդեցությունը

Գոլորշիների անկման անկյունը վերաբերում է գոլորշու մոլեկուլային ճառագայթման ուղղության և պատված հիմքի մակերևույթի նորմայի միջև եղած անկյանը, որը ազդում է թաղանթի աճի բնութագրերի և ագրեգացման խտության վրա, և մեծ ազդեցություն ունի թաղանթի բեկման ցուցիչի և ցրման բնութագրերի վրա: Բարձրորակ թաղանթներ ստանալու համար անհրաժեշտ է վերահսկել թաղանթի նյութի գոլորշու մոլեկուլների մարդու կողմից արտանետման անկյունը, որը, ընդհանուր առմամբ, պետք է սահմանափակվի 30°-ով:

10. Թխման մշակման հետևանքները

Մթնոլորտում թաղանթի ջերմային մշակումը նպաստում է լարվածության թեթևացմանը և շրջակա գազի մոլեկուլների ու թաղանթի մոլեկուլների ջերմային միգրացիային, և կարող է հանգեցնել թաղանթի կառուցվածքի վերամիավորմանը, ուստի այն մեծ ազդեցություն ունի թաղանթի բեկման ցուցիչի, լարվածության և կարծրության վրա։


Հրապարակման ժամանակը. Մարտի 29-2024