A szivattyúrendszeren lévő vákuumbevonó gépnek a következő alapvető követelményei vannak:
(1) A bevonó vákuumrendszernek kellően nagy szivattyúzási sebességgel kell rendelkeznie, amely nemcsak a bevonási folyamat során az aljzatból és az elpárologtatott anyagokból, valamint a vákuumkamrában lévő komponensekből felszabaduló gázokat kell gyorsan kiszivattyúznia, hanem képesnek kell lennie a porlasztási és ionbevonatolási folyamatból felszabaduló gázok, valamint a porlasztási és ionbevonatolási folyamat és a rendszer gázszivárgásának gyors kiszivattyúzására is.
A porlasztás és az ionbevonatolás során keletkező gázszivárgás is gyorsan eltávolítható. A bevonógép termelékenységének javítása érdekében annak gyorsan kell működnie.
(2) A bevonógép szivattyúrendszerének végső vákuumának a különböző fóliák követelményeitől függően eltérőnek kell lennie. A 7-9. táblázat a különböző fóliák bevonási folyamatához szükséges vákuumfok tartományát mutatja.
(3) Az olajdiffúziós szivattyú fő szivattyúrendszerként megköveteli, hogy a szivattyú olaj-visszaáramlási sebessége a lehető legkisebb legyen, mivel a visszatérő olajgőz szennyezi a munkadarab felületét, és rontja a film minőségét. A filmminőségi követelmények különösen magasak a bevonási folyamatban, ezért a legjobb olajmentes szivattyúrendszert használni. Olajdiffúziós szivattyúrendszer használatakor a szivattyú bemeneti nyílásába adszorpciós csapdát, hideg csapdát és egyéb alkatrészeket kell beállítani, és figyelni kell az alkatrészek vezetőképességére, hogy a vákuumrendszer fenntartsa a maximális szivattyúzási sebességet.
(4) A vákuumos bevonókamra és a szivattyúrendszer szivárgási sebességének kicsinek kell lennie, azaz még ha nyomnyi gázszivárgásról van is szó, az befolyásolja a film minőségét. Ezért a rendszer tömítőképességének biztosítása érdekében a rendszer teljes szivárgási sebességét a megengedett tartományon belül kell tartani.
(5) A vákuumrendszer működésének, használatának és karbantartásának kényelmesnek, stabilnak és megbízhatónak kell lennie.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. dec. 14.